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1. (WO2019030863) 基板収納容器
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国際公開番号: WO/2019/030863 国際出願番号: PCT/JP2017/028950
国際公開日: 14.02.2019 国際出願日: 09.08.2017
予備審査請求日: 20.07.2018
IPC:
H01L 21/673 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
673
特に適合するキャリアを使用するもの
出願人:
ミライアル株式会社 MIRAIAL CO., LTD. [JP/JP]; 東京都豊島区東池袋1丁目24番1号 24-1, Higashi-Ikebukuro 1-chome, Toshima-ku, Tokyo 1700013, JP
発明者:
松鳥 千明 MATSUTORI Chiaki; JP
代理人:
正林 真之 SHOBAYASHI Masayuki; JP
林 一好 HAYASHI Kazuyoshi; JP
岩池 満 IWAIKE Mitsuru; JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) SUBSTRATE STORAGE CONTAINER
(FR) RÉCIPIENT DE STOCKAGE DE SUBSTRAT
(JA) 基板収納容器
要約:
(EN) This substrate storage container is provided with a container body, a lid member, a lateral substrate support portion, a lid-member-side substrate support portion, and a back-side substrate support portion 6. The substrate storage container is further provided with a clearing portion 83 which, when the lid member is opened from a container body opening portion that was closed by the lid member, clears a substrate W being supported by the back-side substrate support portion 6 and the lid-member-side substrate support portion from at least one of the back-side substrate support portion 6 and the lid-member-side substrate support portion.
(FR) L'invention concerne un récipient de stockage de substrat comprenant un corps de récipient, un élément couvercle, une partie de support de substrat latéral, une partie de support de substrat côté élément couvercle et une partie de support de substrat côté arrière 6. Le récipient de stockage de substrat comprend en outre une partie de dégagement 83 qui, lorsque l'élément couvercle est ouvert à partir d'une partie d'ouverture de corps de récipient qui a été fermée par l'élément couvercle, libère un substrat W porté par la partie de support de substrat côté arrière 6 et la partie de support de substrat côté élément couvercle à partir de la partie de support de substrat côté arrière 6 et/ou la partie de support de substrat côté élément couvercle.
(JA) 容器本体と、蓋体と、側方基板支持部と、蓋体側基板支持部と、奥側基板支持部6とを備える基板収納容器は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞された状態から、容器本体開口部から蓋体が開かれるときに、奥側基板支持部6及び蓋体側基板支持部によって支持されている状態の基板Wを、奥側基板支持部6と蓋体側基板支持部とのうちの少なくとも一方から取り払う取り払い部83と、を備える。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)