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1. (WO2019026871) アルミナ焼結体およびその製造方法、ならびに、半導体製造装置用部品
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国際公開番号: WO/2019/026871 国際出願番号: PCT/JP2018/028547
国際公開日: 07.02.2019 国際出願日: 31.07.2018
IPC:
C04B 35/117 (2006.01) ,H01L 21/3065 (2006.01)
C 化学;冶金
04
セメント;コンクリート;人造石;セラミックス;耐火物
B
石灰;マグネシア;スラグ;セメント;その組成物,例.モルタル,コンクリートまたは類似の建築材料;人造石;セラミックス;耐火物;天然石の処理
35
組成に特徴を持つ成形セラミック製品;セラミック組成;セラミック製品を製造するための無機化合物粉末の処理
01
酸化物を基とするもの
10
酸化アルミニウムを基とするもの
111
ファインセラミックス
117
複合組成物
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
04
少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
18
不純物,例.ドーピング材料,を含むまたは含まない周期律表第IV族の元素またはA↓I↓I↓IB↓V化合物から成る半導体本体を有する装置
30
21/20~21/26に分類されない方法または装置を用いる半導体本体の処理
302
表面の物理的性質または形状を変換するため,例.エッチング,ポリシング,切断
306
化学的または電気的処理,例.電解エッチング
3065
プラズマエッチング;反応性イオンエッチング
出願人:
株式会社フェローテックセラミックス FERROTEC CERAMICS CORPORATION [JP/JP]; 東京都中央区日本橋二丁目3番4号 3-4, Nihonbashi 2-chome, Chuo-ku, Tokyo 1030027, JP
発明者:
衛藤 俊一 ETO, Shunichi; JP
福尾 長延 FUKUO, Osanobu; JP
齋藤 ▲精▼孝 SAITOU, Kiyotaka; JP
代理人:
特許業務法人ブライタス BRIGHTAS IP ATTORNEYS; 大阪府大阪市北区曽根崎2丁目5番10号 2-5-10, Sonezaki, Kita-ku, Osaka-shi, Osaka 5300057, JP
優先権情報:
2017-14881501.08.2017JP
発明の名称: (EN) ALUMINA SINTERED COMPACT, METHOD OF MANUFACTURING SAME, AND COMPONENT FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS
(FR) COMPACT FRITTÉ D'ALUMINE, SON PROCÉDÉ DE FABRICATION, ET ÉLÉMENT POUR APPAREIL DE FABRICATION DE SEMI-CONDUCTEUR
(JA) アルミナ焼結体およびその製造方法、ならびに、半導体製造装置用部品
要約:
(EN) Provided is an alumina sintered compact containing, in terms of oxide, 0.01–1.0 mass% of at least one selected from Ta, Nb, and V. The alumina sintered compact may also contain, in terms of oxide, 0.01–1.0 mass% of Mg. The alumina sintered compact especially preferably has an alumina purity of at least 99%. As a result, an alumina sintered compact having lower dielectric loss than in the prior art can be inexpensively obtained.
(FR) L'invention concerne un compact fritté d'alumine contenant, en termes d'oxyde, 0,01 à 1,0 % en masse d'au moins un élément choisi parmi le Ta, le Nb et le V. Le compact fritté d'alumine peut également contenir, en termes d'oxyde, 0,01 à 1,0 % en masse de Mg. Le compact fritté en alumine présente notamment, de préférence, une pureté d'alumine d'au moins 99 %. En conséquence, un compact fritté d'alumine ayant une perte diélectrique plus faible que dans l'état de la technique peut être obtenu de manière peu coûteuse.
(JA) Ta、NbおよびVから選択される一種以上を、酸化物換算で0.01~1.0質量%含む、アルミナ焼結体。このアルミナ焼結体は、さらに、Mgを、酸化物換算で0.01~1.0質量%含んでもよい。このアルミナ焼結体は、特に、アルミナ純度が99%以上であることが好ましい。これにより、従来技術と比較して低い誘電損失を有するアルミナ焼結体を安価に得ることができる。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)