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1. (WO2019026641) 薄膜コンデンサ及びその製造方法
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国際公開番号: WO/2019/026641 国際出願番号: PCT/JP2018/027209
国際公開日: 07.02.2019 国際出願日: 20.07.2018
IPC:
H01L 21/822 (2006.01) ,H01G 4/30 (2006.01) ,H01G 4/33 (2006.01) ,H01L 27/04 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
70
1つの共通基板内または上に形成された複数の固体構成部品または集積回路からなる装置またはその特定部品の製造または処理;集積回路装置またはその特定部品の製造
77
1つの共通基板内または上に形成される複数の固体構成部品または集積回路からなる装置の製造または処理
78
複数の別個の装置に基板を分割することによるもの
82
それぞれが複数の構成部品からなる装置,例.集積回路の製造
822
基板がシリコン技術を用いる半導体であるもの
H 電気
01
基本的電気素子
G
コンデンサ;電解型のコンデンサ,整流器,検波器,開閉装置,感光装置また感温装置
4
固定コンデンサ;その製造方法
30
積層型コンデンサ
H 電気
01
基本的電気素子
G
コンデンサ;電解型のコンデンサ,整流器,検波器,開閉装置,感光装置また感温装置
4
固定コンデンサ;その製造方法
33
薄膜または厚膜コンデンサ
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
27
1つの共通基板内または上に形成された複数の半導体構成部品または他の固体構成部品からなる装置
02
整流,発振,増幅またはスイッチングに特に適用される半導体構成部品を含むものであり,少なくとも1つの電位障壁または表面障壁を有するもの;少なくとも1つの電位障壁または表面障壁を有する集積化された受動回路素子を含むもの
04
基板が半導体本体であるもの
出願人:
株式会社村田製作所 MURATA MANUFACTURING CO., LTD. [JP/JP]; 京都府長岡京市東神足1丁目10番1号 10-1, Higashikotari 1-chome, Nagaokakyo-shi, Kyoto 6178555, JP
発明者:
香川 武史 KAGAWA, Takeshi; JP
泉谷 淳子 IZUMITANI, Junko; JP
原田 真臣 HARADA, Masatomi; JP
松原 弘 MATSUBARA, Hiroshi; JP
石田 宣博 ISHIDA, Nobuhiro; JP
代理人:
稲葉 良幸 INABA, Yoshiyuki; JP
大貫 敏史 ONUKI, Toshifumi; JP
優先権情報:
2017-14833031.07.2017JP
発明の名称: (EN) THIN-FILM CAPACITOR AND PRODUCTION METHOD FOR SAME
(FR) CONDENSATEUR À FILM MINCE ET SON PROCÉDÉ DE PRODUCTION
(JA) 薄膜コンデンサ及びその製造方法
要約:
(EN) A thin-film capacitor (100) comprising: a lower electrode (120); a dielectric film (130); an upper electrode (140); a first protection film (151) that has formed therein a first through-hole (CH11) opening to the upper electrode (140) and a second through-hole (CH12) opening to the lower electrode (120), and that has a first upper surface (150A); a second protection film (152) that has a second upper surface (150B) provided at a higher position than the first upper surface 150A of the first protection film 151; a first terminal electrode (161) that is electrically connected to the upper electrode (140) via the first through-hole (CH11), and that is provided so as to extend at least to the second upper surface (150B) of the second protection film (152); and a second terminal electrode (162) that is electrically connected to the lower electrode (120) via the second through-hole (CH12), and that is provided so as to extend at least to the second upper surface (150B) of the second protection film (152).
(FR) L'invention concerne un condensateur à film mince (100) comprenant : une électrode inférieure (120); un film diélectrique (130); une électrode supérieure (140); un premier film de protection (151) à l’intérieur duquel est formé un premier trou traversant (CH11) s'ouvrant sur l'électrode supérieure (140) et un second trou traversant (CH12) s'ouvrant sur l'électrode inférieure (120), et qui a une première surface supérieure (150A); un second film de protection (152) qui a une seconde surface supérieure (150B) disposée à une position supérieure à la première surface supérieure 150A du premier film de protection 151; une première électrode de borne (161) qui est électroconnectée à l'électrode supérieure (140) par l'intermédiaire du premier trou traversant (CH11), et qui est disposée de façon à s'étendre au moins jusqu'à la seconde surface supérieure (150B) du second film de protection (152); et une seconde électrode de borne (162) qui est électroconnectée à l'électrode inférieure (120) par l'intermédiaire du second trou traversant (CH12), et qui est disposée de façon à s'étendre au moins jusqu'à la seconde surface supérieure (150B) du second film de protection (152).
(JA) 薄膜コンデンサ(100)は、下部電極(120)と、誘電体膜(130)と、上部電極(140)と、上部電極(140)を開口する第1貫通孔(CH11)及び下部電極(120)を開口する第2貫通孔(CH12)がそれぞれ形成され且つ第1上面(150A)を有する第1保護膜(151)と、第1保護膜151の第1上面150Aよりも高い位置にある第2上面(150B)を有する第2保護膜(152)と、第1貫通孔(CH11)を通して上部電極(140)に電気的に接続され、少なくとも第2保護膜(152)の第2上面(150B)に至るように延在して設けられた第1端子電極(161)と、第2貫通孔(CH12)を通して下部電極(120)に電気的に接続され、少なくとも第2保護膜(152)の第2上面(150B)に至るように延在して設けられた第2端子電極(162)とを備えている。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)