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1. (WO2019026609) 露光装置
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国際公開番号: WO/2019/026609 国際出願番号: PCT/JP2018/026727
国際公開日: 07.02.2019 国際出願日: 17.07.2018
IPC:
G03F 7/20 (2006.01)
G 物理学
03
写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
F
フォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造,例.印刷用,半導体装置の製造法用;そのための材料;そのための原稿;そのために特に適合した装置
7
フォトメカニカル法,例.フォトリソグラフ法,による凹凸化又はパターン化された表面,例.印刷表面,の製造;そのための材料,例.フォトレジストからなるもの;そのため特に適合した装置
20
露光;そのための装置
出願人:
株式会社ブイ・テクノロジー V TECHNOLOGY CO., LTD. [JP/JP]; 神奈川県横浜市保土ヶ谷区神戸町134番地 134, Godo-cho, Hodogaya-ku, Yokohama-shi, Kanagawa 2400005, JP
発明者:
米澤 良 YONEZAWA Makoto; JP
代理人:
坂田 ゆかり SAKATA Yukari; JP
優先権情報:
2017-14884801.08.2017JP
発明の名称: (EN) EXPOSURE DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'EXPOSITION
(JA) 露光装置
要約:
(EN) In scanning exposure light, it is possible to derive the positional relationship of a component on which a mark is formed and a component on which a mark is not formed. An exposure device for moving a mask-holding part (20) in a first direction and exposing the mask-holding part (20), wherein a template (25) is provided on a side surface (20d) of the mask-holding part (20) that is substantially perpendicular to the first direction. When light is irradiated from a light irradiation unit onto the template (25), a camera (18) reads an image in which a pattern irradiated from the light irradiation unit overlaps with a pattern formed on the template (25).
(FR) Lors du balayage de la lumière d'exposition, il est possible de déduire la relation de position entre un composant sur lequel une marque est formée et un composant sur lequel une marque n'est pas formée. L'invention concerne un dispositif d'exposition pour déplacer une pièce de support de masque (20) dans une première direction et pour exposer la pièce de support de masque (20), un gabarit (25) étant disposé sur une surface latérale (20d) de la pièce de support de masque (20) qui est sensiblement perpendiculaire à la première direction. Lorsque la lumière est irradiée sur le gabarit (25) à partir d'un module d'irradiation de lumière, un appareil photo (18) lit une image dans laquelle un motif irradié par le module d'irradiation de lumière chevauche un motif formé sur le gabarit (25).
(JA) 走査露光においてマークを形成した部品とマークを形成していない部品との位置関係を求めることができる。 マスク保持部(20)を第1方向に移動させて露光する露光装置であり、マスク保持部(20)の、第1方向と略直交する側面(20d)にテンプレート(25)が設けられる。光照射部からテンプレート(25)に向けて光が照射されると、カメラ(18)は、光照射部から照射されたパターンと、テンプレート(25)に形成されたパターンとが重なった画像を読み取る。
front page image
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)