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1. (WO2019026607) 検査装置、検査方法及び記憶媒体
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国際公開番号: WO/2019/026607 国際出願番号: PCT/JP2018/026724
国際公開日: 07.02.2019 国際出願日: 17.07.2018
IPC:
H01L 21/66 (2006.01) ,G01N 21/88 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
66
製造または処理中の試験または測定
G 物理学
01
測定;試験
N
材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
21
光学的手段,すなわち.赤外線,可視光線または紫外線を使用することによる材料の調査または分析
84
特殊な応用に特に適合したシステム
88
きず,欠陥,または汚れの存在の調査
出願人:
東京エレクトロン株式会社 TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 東京都港区赤坂五丁目3番1号 3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325, JP
発明者:
田村 宗明 TAMURA, Muneaki; JP
代理人:
金本 哲男 KANEMOTO, Tetsuo; JP
亀谷 美明 KAMEYA, Yoshiaki; JP
萩原 康司 HAGIWARA, Yasushi; JP
優先権情報:
2017-14819931.07.2017JP
発明の名称: (EN) TEST DEVICE, TEST METHOD AND MEMORY MEDIUM
(FR) DISPOSITIF DE TEST, PROCÉDÉ DE TEST ET SUPPORT MÉMOIRE
(JA) 検査装置、検査方法及び記憶媒体
要約:
(EN) This test device comprises an imaging unit with a binning function, and a control unit that controls the imaging unit. The control unit is configured in such a manner as to execute: a high-speed low-accuracy testing step of acquiring images of an electrode after a probe needle contacting operation, with an imaging unit with a binning function activated, and, based on these imaging results, determining the state of needle marks on the electrode; and a low-speed high-accuracy testing step of re-acquiring an image with the imaging unit with the binning function deactivated in response to the detection results of the high-speed low-accuracy testing step, and based on these imaging results, determining the state of the needle marks on the re-imaged electrode.
(FR) La présente invention concerne un dispositif de test comprenant une unité d'imagerie à fonction de compartimentage, et une unité de commande qui commande l'unité d'imagerie. L'unité de commande est configurée de manière à exécuter : une étape de test de faible précision à vitesse élevée consistant à acquérir des images d'une électrode après une opération de contact avec une aiguille de sonde, par une unité d'imagerie à fonction de compartimentage activée et, sur la base de ces résultats d'imagerie, à déterminer l'état de marques d'aiguille sur l'électrode ; et une étape de test de haute précision à faible vitesse consistant à acquérir de nouveau une image par l'unité d'imagerie, la fonction de compartimentage étant désactivée, en réponse aux résultats de détection de l'étape de test de faible précision à vitesse élevée et, sur la base de ces résultats d'imagerie, à déterminer l'état des marques d'aiguille sur l'électrode mise de nouveau en image.
(JA) 検査装置は、ビニング機能を有する撮像部と、当該撮像部を制御する制御部とを備え、当該制御部は、プローブ針の接触動作後の電極を、ビニング機能を有効にした撮像部で撮像させ、このときの撮像結果に基づいて、電極における針痕の状態の判定を行う高速低精度検査工程と、当該高速低精度検査工程での判定結果に応じて、ビニング機能を無効にした撮像部で再度撮像させ、このときの撮像結果に基づいて、再度撮像された電極における針痕の状態の判定を行う低速高精度検査工程と、を実行するように構成されている。
front page image
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)