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1. (WO2019026456) 振動検出素子およびその製造方法
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国際公開番号: WO/2019/026456 国際出願番号: PCT/JP2018/023549
国際公開日: 07.02.2019 国際出願日: 21.06.2018
IPC:
G01N 5/02 (2006.01) ,B81B 3/00 (2006.01)
G 物理学
01
測定;試験
N
材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
5
重量測定による材料分析,例.気体または液体から分離した小粒子の重量測定によるもの
02
材料の成分を吸収または吸着させ,吸着剤の重量変化を測定するもの,例.含水率の測定
B 処理操作;運輸
81
マイクロ構造技術
B
マイクロ構造装置またはシステム,例.マイクロマシン装置
3
可撓性の,または変形可能な要素,例.弾性のある舌片または薄膜,からなる装置
出願人:
加藤 史仁 KATO Fumihito [JP/JP]; JP (JP)
国立大学法人大阪大学 OSAKA UNIVERSITY [JP/JP]; 大阪府吹田市山田丘1番1号 1-1, Yamadaoka, Suita-shi, Osaka 5650871, JP
サムコ株式会社 SAMCO INC. [JP/JP]; 京都府京都市伏見区竹田藁屋町36番地 Warayacho 36, Takeda, Fushimiku, Kyoto-shi, Kyoto 6128443, JP (JP)
発明者:
加藤 史仁 KATO Fumihito; JP
荻 博次 OGI Hirotsugu; JP
野中 知行 NONAKA Tomoyuki; JP
代理人:
松山 隆夫 MATSUYAMA Takao; JP
優先権情報:
2017-14879301.08.2017JP
発明の名称: (EN) VIBRATION DETECTION ELEMENT AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME
(FR) ÉLÉMENT DE DÉTECTION DE VIBRATIONS ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
(JA) 振動検出素子およびその製造方法
要約:
(EN) A vibration detection element (10) is provided with base material sections (1-3), a supporting member (22), a supporting member (32), and a vibrator (4). The base material sections (1-3) include a space section (SP) having a bottom surface (21A) and a bottom surface (31A) facing the bottom surface (21A). The supporting member (22) protrudes in the direction from the bottom surface (21A) to the bottom surface (31A) of the space section (SP). The supporting member (32) protrudes in the direction from the bottom surface (31A) to the bottom surface (21A) of the space section. The vibrator (4) is disposed in contact with the supporting member (22) or the supporting member (32) such that the vibrator can vibrate in the space section (SP), said vibrator having a thickness less than 10 μm. Each of the supporting members (22, 32) includes a plurality of supporting sections that prevent the vibrator (4) from coming into contact with the bottom surface (21A) or the bottom surface (31A).
(FR) L'invention concerne un élément de détection de vibrations (10) comprenant des sections de matériau de base (1-3), d'un élément de soutien (22), un élément de soutien (32) et un vibreur (4). Les sections de matériau de base (1-3) comprennent une section d'espace (SP) présentant une surface inférieure (21A) et une surface inférieure (31A) faisant face à la surface inférieure (21A). L'élément de soutien (22) fait saillie dans la direction depuis la surface inférieure (21A) vers la surface inférieure (31A) de la section d'espace (SP). L'élément de soutien (32) fait saillie dans la direction depuis la surface inférieure (31A) vers la surface inférieure (21A) de la section d'espace. Le vibreur (4) est disposé en contact avec l'élément de soutien (22) ou l'élément de soutien (32) de telle sorte que le vibreur puisse vibrer dans la section d'espace (SP), ledit vibreur présentant une épaisseur inférieure à 10 µm. Chacun des éléments de soutien (22, 32) comprend une pluralité de sections de soutien qui empêchent le vibreur (4) d'entrer en contact avec la surface inférieure (21A) ou la surface inférieure (31A).
(JA) 振動検出素子(10)は、基材(1~3)と、支持部材(22)と、支持部材(32)と、振動子(4)とを備える。基材(1~3)は、底面(21A)と底面(21A)に対向する底面(31A)とを有する空間部(SP)を含む。支持部材(22)は、空間部(SP)の底面(21A)から底面(31A)の方向へ突出する。支持部材(32)は、空間部の底面(31A)から底面(21A)の方向へ突出する。振動子(4)は、空間部(SP)内において振動可能に支持部材(22)または支持部材(32)に接して配置され、10μm未満の厚みを有する。支持部材(22,32)の各々は、振動子(4)が底面(21A)または底面(31A)に接触するのを防止する複数の支持部を含む。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)