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1. (WO2019026417) ガス供給システム
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国際公開番号: WO/2019/026417 国際出願番号: PCT/JP2018/021739
国際公開日: 07.02.2019 国際出願日: 06.06.2018
IPC:
F16K 7/16 (2006.01) ,F16K 31/44 (2006.01) ,F16K 31/50 (2006.01) ,H01L 21/31 (2006.01)
F 機械工学;照明;加熱;武器;爆破
16
機械要素または単位;機械または装置の効果的機能を生じ維持するための一般的手段
K
弁;栓;コック;作動のフロート;排気または吸気装置
7
ダイヤフラム締め切り装置,例.流路を閉鎖するために,全部は動かないが,変形される部材をもつもの
12
平担,皿状,わん状,のダイヤフラム
14
平担弁座面に対して変形されるように配置されているもの
16
機械的に作動されるダイヤフラム,例.ねじスピンドルまたはカム作動
F 機械工学;照明;加熱;武器;爆破
16
機械要素または単位;機械または装置の効果的機能を生じ維持するための一般的手段
K
弁;栓;コック;作動のフロート;排気または吸気装置
31
操作手段;釈放装置
44
機械式作動手段
F 機械工学;照明;加熱;武器;爆破
16
機械要素または単位;機械または装置の効果的機能を生じ維持するための一般的手段
K
弁;栓;コック;作動のフロート;排気または吸気装置
31
操作手段;釈放装置
44
機械式作動手段
50
ねじスピンドルをもつもの
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
04
少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
18
不純物,例.ドーピング材料,を含むまたは含まない周期律表第IV族の元素またはA↓I↓I↓IB↓V化合物から成る半導体本体を有する装置
30
21/20~21/26に分類されない方法または装置を用いる半導体本体の処理
31
半導体本体上への絶縁層の形成,例.マスキング用またはフォトリソグラフィック技術の使用によるもの;これらの層の後処理;これらの層のための材料の選択
出願人:
株式会社フジキン FUJIKIN INCORPORATED [JP/JP]; 大阪府大阪市西区立売堀2丁目3番2号 3-2, Itachibori 2-chome, Nishi-ku, Osaka-shi, Osaka 5500012, JP
発明者:
三浦 尊 MIURA Takeru; JP
中田 知宏 NAKATA Tomohiro; JP
稲田 敏之 INADA Toshiyuki; JP
渡辺 一誠 WATANABE Kazunari; JP
近藤 研太 KONDO Kenta; JP
佐藤 秀信 SATO Hidenobu; JP
代理人:
長門 侃二 NAGATO, Kanji; JP
優先権情報:
2017-14751331.07.2017JP
発明の名称: (EN) GAS SUPPLY SYSTEM
(FR) SYSTÈME D'ALIMENTATION EN GAZ
(JA) ガス供給システム
要約:
(EN) This gas supply system (1) is provided with: an automatic valve (18) which is provided in a flow passage (6) and which automatically opens and closes to regulate the flow rate of process gas to be supplied to a chamber (4); and a manual valve (20) provided in the flow passage (6) at a position downstream of the automatic valve (18) and closest to the chamber (4), and opened and closed manually to adjust the flow rate of the process gas. The manual valve (20) is a direct diaphragm valve having a diaphragm (24) which is seated on and separated from a seat (44) in coordination with a stem (32) and a disk (28) as the manual valve (20) is opened and closed. The manual valve (20) has a stroke regulation mechanism (36) for regulating the valve stroke.
(FR) L'invention concerne un système d'alimentation en gaz (1) comprenant : une soupape automatique (18) qui est disposée dans un passage d'écoulement (6) et qui s'ouvre et se ferme automatiquement pour réguler le débit du gaz de traitement devant être fourni à une chambre (4) ; et une soupape manuelle (20) disposée dans le passage d'écoulement (6) à une position en aval de la soupape automatique (18) et à une position la plus proche de la chambre (4), la soupape manuelle étant ouverte et fermée manuellement pour ajuster le débit du gaz de traitement. La soupape manuelle (20) est une soupape à membrane directe ayant une membrane (24) placée sur un siège (44) et séparée du siège (44) en coordination avec une tige (32) et un disque (28) lorsque la soupape manuelle (20) est ouverte et fermée. La soupape manuelle (20) possède un mécanisme de régulation de course (36) permettant de réguler la course de la soupape.
(JA) ガス供給システム(1)は、流路(6)に設けられて自動開閉によりチャンバ(4)に供給するプロセスガスの流量を調整する自動弁(18)と、流路(6)における自動弁(18)の下流であってチャンバ(4)の直近に設けられ、手動開閉によりプロセスガスの流量を調整する手動弁(20)とを備え、手動弁(20)は、開閉に伴いステム(32)及びディスク(28)と連動し、シート(44)に着座及び離座するダイヤフラム(24)を有するダイレクトダイヤフラム弁であって、バルブストロークを調整するストローク調整機構(36)を有する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)