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1. (WO2019026275) カーボンナノホーン集合体の製造装置
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国際公開番号: WO/2019/026275 国際出願番号: PCT/JP2017/028378
国際公開日: 07.02.2019 国際出願日: 04.08.2017
IPC:
C01B 32/18 (2017.01) ,C23C 14/28 (2006.01)
[IPC code unknown for C01B 32/18]
C 化学;冶金
23
金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
C
金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般
14
被覆形成材料の真空蒸着,スパッタリングまたはイオン注入法による被覆
22
被覆の方法に特徴のあるもの
24
真空蒸着
28
波動エネルギーまたは粒子放射によるもの
出願人:
日本電気株式会社 NEC CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区芝五丁目7番1号 7-1, Shiba 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1088001, JP
発明者:
弓削 亮太 YUGE Ryota; JP
代理人:
宮崎 昭夫 MIYAZAKI Teruo; JP
緒方 雅昭 OGATA Masaaki; JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) APPARATUS FOR PRODUCING CARBON NANOHORN AGGREGATE
(FR) APPAREIL POUR LA PRODUCTION D'AGRÉGAT DE NANOCORNETS DE CARBONE
(JA) カーボンナノホーン集合体の製造装置
要約:
(EN) In order to provide an apparatus for industrially producing a fibrous carbon nanohorn aggregate (CNB), the apparatus comprises: a target holding means for holding a sheet-shaped carbon target containing a metal catalyst such as Fe; a light source for irradiating the surface of the carbon target with laser light; a moving means for moving one of the target held by the target holding means and the light source relative to the other to move the irradiation position of the laser light on the surface of the target; a generation chamber for generating a product containing a carbon nanohorn aggregate including a fibrous carbon nanohorn aggregate by irradiating the carbon target with the laser light in a nonoxidizing gas atmosphere; a recovery means for recovering carbon vapor evaporated from the target by irradiation of the laser light and recovering nanocarbon including the fibrous carbon nanohorn aggregate; and a control unit for controlling the operation of the moving means or the light source so that the power density of the laser light irradiated on the surface of the target becomes substantially constant and the irradiation position of the laser light is moved, with an interval equal to or larger than the width of a modified region formed around the laser light irradiation region, to a region adjacent to the region which has been earlier irradiated with the laser light.
(FR) L'invention concerne un appareil pour produire industriellement un agrégat de nanocornets de carbone fibreux (CNB), l'appareil comprenant : un moyen de maintien de cible pour maintenir une cible en carbone en forme de feuille contenant un catalyseur métallique tel que du Fe ; une source de lumière pour irradier la surface de la cible en carbone avec une lumière laser ; un moyen de déplacement pour déplacer l'une de la cible maintenue par le moyen de maintien de cible ou de la source de lumière par rapport à l'autre pour déplacer la position d'irradiation de la lumière laser sur la surface de la cible ; une chambre de génération pour générer un produit contenant un agrégat de nanocornet de carbone comprenant un agrégat de nanocornet de carbone fibreux par irradiation de la cible de carbone avec la lumière laser dans une atmosphère gazeuse non oxydante ; un moyen de récupération pour récupérer la vapeur de carbone évaporé à partir de la cible par irradiation de la lumière laser et récupérer le nanocarbone comprenant l'agrégat de nanocornet de carbone fibreux ; et une unité de contrôle pour contrôler le fonctionnement du moyen de déplacement ou de la source de lumière de telle sorte que la densité de puissance de la lumière laser irradiée sur la surface de la cible devient sensiblement constante et la position d'irradiation de la lumière laser est déplacée, avec un intervalle égal ou supérieur à la largeur d'une région modifiée formée autour de la région d'irradiation de lumière laser, vers une région adjacente à la région qui a été préalablement irradiée avec la lumière laser.
(JA) 繊維状のカーボンナノホーン集合体(CNB)を工業的に生産する装置を提供するため、該装置は、Fe等の金属触媒を含有するシート状炭素ターゲットを保持するターゲット保持手段と、炭素ターゲットの表面にレーザー光を照射する光源と、ターゲット保持手段に保持されたターゲットと光源のうち一方を他方に対して相対的に移動させ、ターゲットの表面におけるレーザー光の照射位置を移動させる移動手段と、非酸化性ガス雰囲気中で前記炭素ターゲットに前記レーザー光を照射して、繊維状のカーボンナノホーン集合体を含むカーボンナノホーン集合体を含有する生成物を生成するための生成チャンバと、レーザー光の照射によりターゲットから蒸発した炭素蒸気を回収し、繊維状のカーボンナノホーン集合体を含むナノカーボンを回収する回収手段と、ターゲットの表面に照射されるレーザー光のパワー密度が略一定となり、且つ、レーザー光の照射位置を先にレーザー光が照射された領域と隣接する領域に、レーザー光の照射領域の周辺に形成される変質領域の幅以上の間隔を開けて照射移動させるように移動手段または光源の動作と制御する制御部とを備えることを特徴とする。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)