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1. (WO2019022200) 試料保持具
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国際公開番号: WO/2019/022200 国際出願番号: PCT/JP2018/028120
国際公開日: 31.01.2019 国際出願日: 26.07.2018
IPC:
H01L 21/683 (2006.01) ,H05B 3/00 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
683
支持または把持のためのもの
H 電気
05
他に分類されない電気技術
B
電気加熱;他に分類されない電気照明
3
抵抗加熱
出願人:
京セラ株式会社 KYOCERA CORPORATION [JP/JP]; 京都府京都市伏見区竹田鳥羽殿町6番地 6, Takeda Tobadono-cho, Fushimi-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6128501, JP
発明者:
塩屋 和紀 SHIOYA, Kazunori; JP
優先権情報:
2017-14577627.07.2017JP
発明の名称: (EN) SAMPLE HOLDING TOOL
(FR) OUTIL PORTE-ÉCHANTILLONS
(JA) 試料保持具
要約:
(EN) A sample holding tool 10 according to the present disclosure is provided with: a plate-like insulating substrate 1 which has an upper surface and a lower surface; a heat-generating resistor which is positioned inside or on the lower surface of the insulating substrate 1; a support body 3 which is positioned below the insulating substrate 1, while being at a distance from the insulating substrate 1; and a metal plate 4 which is positioned between the insulating substrate 1 and the support body 3, while being at a distance from the insulating substrate 1 and the support body 3, and which has a lower surface that is affixed to the support body 3 by means of a fixation member 5 so that the upper surface thereof faces the lower surface of the insulating substrate 1. The degree of gloss of the upper surface of the metal plate 4 is higher than the degree of gloss of the lower surface of the metal plate 4.
(FR) Cette invention outil porte-échantillons (10), comprenant : un substrat isolant en forme de plaque (1) qui a une surface supérieure et une surface inférieure ; une résistance à génération de chaleur qui est positionnée à l'intérieur ou sur la surface inférieure du substrat isolant (1) ; un corps de support (3) qui est positionné en dessous du substrat isolant (1), tout en étant à une certaine distance du substrat isolant (1) ; et une plaque métallique (4) qui est positionnée entre le substrat isolant (1) et le corps de support (3), tout en étant à une certaine distance du substrat isolant (1) et du corps de support (3), et qui a une surface inférieure qui est fixée au corps de support (3) au moyen d'un élément de fixation (5) de telle sorte que sa surface supérieure soit orientée face à la surface inférieure du substrat isolant (1). Le degré de brillant de la surface supérieure de la plaque métallique (4) est supérieur au degré de brillant de la surface inférieure de la plaque métallique (4).
(JA) 本開示の試料保持具10は、上面および下面を有する板状の絶縁基体1と、絶縁基体1の内部または下面に位置する発熱抵抗体と、前記絶縁基体1より下側において前記絶縁基体1とは間隔をおいて位置する支持体3と、前記絶縁基体1と前記支持体3との間において前記絶縁基体1および前記支持体3から離れて位置しており、前記絶縁基体1の下面に対して上面が向かい合うように、下面が固定部材5によって前記支持体3に固定された金属板4とを備えており、該金属板4の上面の光沢度は、前記金属板4の下面の光沢度よりも大きい。
front page image
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)