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1. (WO2019021834) 産業用ロボット
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国際公開番号: WO/2019/021834 国際出願番号: PCT/JP2018/026255
国際公開日: 31.01.2019 国際出願日: 12.07.2018
IPC:
B25J 9/00 (2006.01) ,B65G 49/06 (2006.01) ,H01L 21/677 (2006.01)
B 処理操作;運輸
25
手工具;可搬型動力工具;手工具用の柄;作業場設備;マニプレータ
J
マニプレータ;マニプレータ装置を持つ小室
9
プログラム制御マニプレータ
B 処理操作;運輸
65
運搬;包装;貯蔵;薄板状または線条材料の取扱い
G
運搬または貯蔵装置,例.荷積みまたは荷あげ用コンベヤ;工場コンベヤシステムまたは空気管コンベヤ
49
他の分類に属せず,特殊な目的に適用されることを特徴とする移送装置
05
もろい,または損傷性材料または物品用のもの
06
もろい薄板状材料,例.ガラス板,用のもの
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
677
移送のためのもの,例.異なるワ―クステーション間での移送
出願人:
日本電産サンキョー株式会社 NIDEC SANKYO CORPORATION [JP/JP]; 長野県諏訪郡下諏訪町5329番地 5329, Shimosuwa-machi, Suwa-gun, Nagano 3938511, JP
発明者:
矢澤 隆之 YAZAWA, Takayuki; JP
志村 芳樹 SHIMURA, Yoshiki; JP
高瀬 陽介 TAKASE, Yosuke; JP
優先権情報:
2017-14686228.07.2017JP
発明の名称: (EN) INDUSTRIAL ROBOT
(FR) ROBOT INDUSTRIEL
(JA) 産業用ロボット
要約:
(EN) Provided is an industrial robot which conveys an object to be conveyed in vacuum and which is capable of suppressing damaging of a motor for moving a first hand and a motor for moving a second hand caused by the influence of heat, even when, for example, the object to be conveyed is delivered into/out of a high-temperature process chamber. The industrial robot 1 is provided with: hands 5, 6; a hand support member 7 to which the hand 5 is fixed; a hand support member 8 to which the hand 6 is fixed; an arm 9 that holds the hand support members 7, 8 so as to enable the hand support members 7, 8 to linearly reciprocate in the same horizontal direction; a first drive mechanism for causing the hand support member 7 to reciprocate with respect to the arm 9; and a second drive mechanism for causing the hand support member 8 to reciprocate with respect to the arm 9. A motor that constitutes a part of the first drive mechanism and a motor that constitutes a part of the second drive mechanism are disposed inside the center portion of the arm 9.
(FR) L'invention concerne un robot industriel qui transporte un objet à transporter sous vide et qui est apte à supprimer l'endommagement d'un moteur pour déplacer une première main et d'un moteur pour déplacer une seconde main provoqué par l'influence de la chaleur, même lorsque, par exemple, l'objet à transporter est distribué dans une chambre de traitement à haute température/hors de ladite chambre. Le robot industriel (1) est pourvu : de mains (5, 6) ; d'un élément de support de main (7) auquel la main (5) est fixée ; d'un élément de support de main (8) auquel la main (6) est fixée ; d'un bras (9) qui maintient les éléments de support de main (7, 8) de façon à permettre aux éléments de support de main (7, 8) d'effectuer un mouvement de va-et-vient linéaire dans la même direction horizontale ; d'un premier mécanisme d'entraînement pour amener l'élément de support de main (7) à effectuer un mouvement de va-et-vient par rapport au bras (9) ; et d'un second mécanisme d'entraînement pour amener l'élément de support de main (8) à effectuer un mouvement de va-et-vient par rapport au bras (9). Un moteur qui constitue une partie du premier mécanisme d'entraînement et un moteur qui constitue une partie du second mécanisme d'entraînement sont disposés à l'intérieur de la partie centrale du bras (9).
(JA) 真空中で搬送対象物を搬送する産業用ロボットにおいて、たとえば、高温のプロセスチャンバーに対する搬送対象物の搬入や搬出を行う場合であっても、第1ハンドを移動させるためのモータおよび第2ハンドを移動させるためのモータの、熱の影響による損傷を抑制することが可能な産業用ロボットを提供する。 産業用ロボット1は、ハンド5、6と、ハンド5が固定されるハンド支持部材7と、ハンド6が固定されるハンド支持部材8と、ハンド支持部材7、8が水平方向の同じ方向へ直線的に往復移動可能となるようにハンド支持部材7、8を保持するアーム9と、アーム9に対してハンド支持部材7を往復移動させる第1駆動機構と、アーム9に対してハンド支持部材8を往復移動させる第2駆動機構とを備えている。第1駆動機構の一部を構成するモータおよび第2駆動機構の一部を構成するモータは、アーム9の中心部分の内部に配置されている。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)