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1. (WO2019021454) 荷電粒子線装置
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国際公開番号: WO/2019/021454 国際出願番号: PCT/JP2017/027413
国際公開日: 31.01.2019 国際出願日: 28.07.2017
IPC:
H01J 37/244 (2006.01) ,H01J 37/05 (2006.01) ,H01J 37/22 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
37
放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02
細部
244
検出器;関連の構成要素またはそのための回路
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
37
放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02
細部
04
電極装置および放電を発生しまたは制御するための関連部品,例.電子光学装置,イオン光学装置
05
電子またはイオンをそれらのエネルギーに応じて分離するための電子光学的またはイオン光学的装置
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
37
放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02
細部
22
管と関連した光学または写真装置
出願人:
株式会社 日立ハイテクノロジーズ HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区西新橋一丁目24番14号 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717, JP
発明者:
水原 譲 MIZUHARA Yuzuru; JP
黒澤 浩一 KUROSAWA Kouichi; JP
代理人:
岩崎 重美 IWASAKI Shigemi; JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) CHARGED-PARTICLE BEAM DEVICE
(FR) DISPOSITIF FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES
(JA) 荷電粒子線装置
要約:
(EN) The purpose of the present invention is to provide a charged-particle beam device capable of stable performance of processes such as a measurement or test, independent of fluctuations in sample electric potential or the like. To this end, this charged-particle beam device comprises an energy filter for filtering the energy of charged particles released from the sample and a deflector for deflecting the charged particles released from the sample toward the energy filter. A control device generates a first image on the basis of the output of a detector, adjusts the voltage applied to the energy filter so that the first image reaches a prescribed state, and calculates deflection conditions for the deflector on the basis of the post-adjustment voltage applied to the energy filter.
(FR) Le but de la présente invention est de fournir un dispositif faisceau de particules chargées susceptible de performances stables de processus tel qu'une mesure ou un test, indépendamment des fluctuations dans un potentiel électrique d'échantillon ou similaire. À cet effet, ce dispositif faisceau de particules chargées comprend un filtre d'énergie destiné à filtrer l'énergie de particules chargées libérées de l'échantillon et un déflecteur destiné à dévier les particules chargées libérées de l'échantillon vers le filtre d'énergie. Un dispositif de commande génère une première image sur la base de la sortie d'un détecteur, règle la tension appliquée au filtre d'énergie de telle sorte que la première image atteigne un état prescrit, et calcule des conditions de déviation du déflecteur sur la base de la tension de post-réglage appliquée au filtre d'énergie.
(JA) 本発明は、試料電位の変動等によらず、安定した計測や検査等を行うことを可能とする荷電粒子線装置の提供を目的とする。そのために、試料から放出された荷電粒子をエネルギーフィルタリングするエネルギーフィルタを備えた荷電粒子線装置であって、エネルギーフィルタに向かって、試料から放出された荷電粒子を偏向する偏向器を備え、当該制御装置は、検出器の出力に基づいて第1の画像を生成し、当該第1の画像が所定の状態となるようにエネルギーフィルタへの印加電圧を調整し、当該調整後のエネルギーフィルタの印加電圧に基づいて、偏向器の偏向条件を算出する荷電粒子線装置を提案する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)