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1. (WO2019017121) 半導体ウェハ
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国際公開番号: WO/2019/017121 国際出願番号: PCT/JP2018/022594
国際公開日: 24.01.2019 国際出願日: 13.06.2018
IPC:
H01L 21/66 (2006.01) ,G01R 31/28 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
66
製造または処理中の試験または測定
G 物理学
01
測定;試験
R
電気的変量の測定;磁気的変量の測定
31
電気的性質を試験するための装置;電気的故障の位置を示すための装置;試験対象に特徴のある電気的試験用の装置で,他に分類されないもの
28
電子回路の試験,例.シグナルトレーサーによるもの
出願人:
浜松ホトニクス株式会社 HAMAMATSU PHOTONICS K.K. [JP/JP]; 静岡県浜松市東区市野町1126番地の1 1126-1, Ichino-cho, Higashi-ku, Hamamatsu-shi, Shizuoka 4358558, JP
発明者:
須山 本比呂 SUYAMA Motohiro; JP
高橋 宏典 TAKAHASHI Hironori; JP
中村 共則 NAKAMURA Tomonori; JP
代理人:
長谷川 芳樹 HASEGAWA Yoshiki; JP
黒木 義樹 KUROKI Yoshiki; JP
柴山 健一 SHIBAYAMA Kenichi; JP
優先権情報:
2017-13929818.07.2017JP
発明の名称: (EN) SEMICONDUCTOR WAFER
(FR) TRANCHE SEMI-CONDUCTRICE
(JA) 半導体ウェハ
要約:
(EN) Provided is a semiconductor wafer suitable for the detection of operation states. This wafer is a semiconductor wafer having a plurality of chip formation regions, the semiconductor wafer being provided with: memory cells formed within the chip formation regions; and detection devices formed in regions outside the chip formation regions. The detection devices each have: a photodiode which receives an input of pump light for checking the operation of the memory cells and outputs an electrical signal in response to the corresponding pump light; and a signal processing circuit which generates a logic signal on the basis of the electrical signal output from the photodiode, and outputs the logic signal to the memory cells.
(FR) L'invention concerne une tranche semi-conductrice appropriée pour la détection d'états de fonctionnement. Cette tranche est une tranche semi-conductrice ayant une pluralité de régions de formation de puce, la tranche semi-conductrice comprenant : des cellules de mémoire formées à l'intérieur des régions de formation de puce; et des dispositifs de détection formés dans des régions à l'extérieur des régions de formation de puce. Les dispositifs de détection comprennent chacun : une photodiode qui reçoit une entrée de lumière de pompage pour vérifier le fonctionnement des cellules de mémoire et délivre un signal électrique en réponse à la lumière de pompage correspondante; et un circuit de traitement de signal qui génère un signal logique sur la base du signal électrique délivré par la photodiode, et délivre le signal logique aux cellules de mémoire.
(JA) 動作状態の検査に適した半導体ウェハを提供する。 ウェハは、複数のチップ形成領域を有する半導体ウェハであって、チップ形成領域内に形成されたメモリセルと、チップ形成領域外に形成された検査用デバイスと、を備え、検査用デバイスは、メモリセルの動作確認のためのポンプ光の入力を受け、該ポンプ光に応じた電気信号を出力するフォトダイオードと、フォトダイオードから出力される電気信号に基づきロジック信号を生成し、該ロジック信号をメモリセルに出力する信号処理回路と、を有する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)