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1. (WO2019017050) 検査システム
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国際公開番号: WO/2019/017050 国際出願番号: PCT/JP2018/018314
国際公開日: 24.01.2019 国際出願日: 11.05.2018
予備審査請求日: 19.11.2018
IPC:
H01L 21/66 (2006.01) ,H01L 21/677 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
66
製造または処理中の試験または測定
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
677
移送のためのもの,例.異なるワ―クステーション間での移送
出願人:
東京エレクトロン株式会社 TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 東京都港区赤坂五丁目3番1号 3-1 Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325, JP
発明者:
小西 顕太朗 KONISHI Kentaro; JP
鹿川 大紀 SHIKAGAWA Hiroki; JP
藤原 潤 FUJIHARA Jun; JP
代理人:
高山 宏志 TAKAYAMA Hiroshi; JP
優先権情報:
2017-13993619.07.2017JP
発明の名称: (EN) INSPECTION SYSTEM
(FR) SYSTÈME D'INSPECTION
(JA) 検査システム
要約:
(EN) This inspection system is provided with: an inspection region provided with an inspection unit having a plurality of inspection units each of which has a tester and a probe card installed between the tester and an inspection target, and performs an electrical inspection on the inspection target; and a loader region that has an arrangement part which is installed on an end side in one direction of the inspection unit and in which a receiving container for the inspection target is arranged, and that has a loader which performs delivery of the inspection target between the receiving container and the inspection region. The inspection unit is configured such that inspection unit arrays formed by the plurality of inspection units arranged in one horizontal direction are disposed in multiple stages in multiple directions, the arrangement part is provided on one end portion side of the inspection unit, and the inspection region is further provided with: a plurality of transportation paths provided adjacent to each stage of the inspection unit array and extending in one direction; and a plurality of transportation mechanisms which are movably provided along each of the transportation paths and delivers, between the inspection units, the inspection target that is loaded from the loader.
(FR) La présente invention concerne un système d'inspection comprenant : une région d'inspection pourvue d'une unité d'inspection ayant une pluralité d'unités d'inspection ayant chacune un testeur et une carte sonde installée entre le testeur et une cible d'inspection, et effectuant une inspection électrique sur la cible d'inspection; et une région de chargeur qui a une partie d'agencement qui est installée sur un côté d'extrémité dans une direction de l'unité d'inspection et dans laquelle un récipient de logement pour la cible d'inspection est agencé, et qui a un chargeur effectuant une distribution de la cible d'inspection entre le récipient de logement et la région d'inspection. L'unité d'inspection est conçue de telle sorte que des réseaux d'unités d'inspection formés par la pluralité d'unités d'inspection agencées dans une direction horizontale sont disposés en de multiples étages dans de multiples directions, la partie d'agencement est disposée sur un côté de partie d'extrémité de l'unité d'inspection, et la région d'inspection est en outre pourvue : d'une pluralité de trajets de transport disposés adjacents à chaque étage du réseau d'unités d'inspection et s'étendant dans une direction; et d'une pluralité de mécanismes de transport qui sont disposés de façon mobile le long de chacun des trajets de transport et distribuant, entre les unités d'inspection, la cible d'inspection qui est chargée à partir du chargeur.
(JA) 検査システムは、テスタと、テスタと被検査体の間に設けられるプローブカードとを有し、被検査体の電気的検査を行う複数の検査ユニットを有する検査部を備えた検査領域と、検査部の一方向の端部側に設けられ、被検査体の収容容器が配置される配置部と、収容容器と検査領域との間で被検査体の受け渡しを行うローダとを有するローダ領域とを具備する。検査部は、検査ユニットが水平方向の一方向に複数配列されて形成された検査ユニット列が、垂直方向に複数段配置されて構成され、配置部は、検査部の一方向の端部側に設けられ、検査領域は、検査部の検査ユニット列の各段に隣接して設けられ、一方向に延びる複数の搬送路と、各搬送路に沿って移動可能に設けられ、ローダから搬入された被検査体を前記検査ユニットとの間で受け渡す複数の搬送機構とをさらに備える。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)