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1. (WO2019016857) 荷電粒子ビーム装置
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国際公開番号: WO/2019/016857 国際出願番号: PCT/JP2017/025930
国際公開日: 24.01.2019 国際出願日: 18.07.2017
IPC:
H01J 37/24 (2006.01) ,H01J 37/04 (2006.01) ,H01J 37/06 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
37
放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02
細部
24
管の特定用途に使用されず,かつ他のどの分類にも属しない回路装置
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
37
放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02
細部
04
電極装置および放電を発生しまたは制御するための関連部品,例.電子光学装置,イオン光学装置
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
37
放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02
細部
04
電極装置および放電を発生しまたは制御するための関連部品,例.電子光学装置,イオン光学装置
06
電子源;電子銃
出願人:
株式会社日立ハイテクノロジーズ HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区西新橋一丁目24番14号 24-14, Nishi-Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717, JP
発明者:
門井 涼 KADOI Ryo; JP
李 ウェン LI Wen; JP
石垣 直也 ISHIGAKI Naoya; JP
代理人:
特許業務法人 湘洋内外特許事務所 SHOYO INTELLECTUAL PROPERTY FIRM; 神奈川県横浜市西区北幸二丁目15番1号 東武横浜第2ビル6階 6F, Tobu Yokohama 2ND Bldg., 15-1, Kitasaiwai 2-chome, Nishi-ku, Yokohama-shi, Kanagawa 2200004, JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE
(FR) DISPOSITIF À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES
(JA) 荷電粒子ビーム装置
要約:
(EN) The present invention prevents breakage of a chip by using a simple configuration even when an extraction-electrode power source cannot apply voltage to an extraction electrode due to a malfunction, etc. This charged particle beam device is provided with: a charged particle source; an extraction electrode that extracts charged particles from the charged particle source; an extraction-electrode power source that applies voltage to the extraction electrode; an accelerating electrode for accelerating the charged particles; an accelerating power source that applies voltage to the accelerating electrode; and a diode and a resistor which are connected in series between a middle stage of the accelerating power source and the output side of the extraction-electrode power source.
(FR) La présente invention empêche la rupture d'une puce au moyen d'une configuration simple même lorsqu'une source de puissance d'électrode d'extraction ne peut pas appliquer de tension à une électrode d'extraction en raison d'un dysfonctionnement, etc. Le présent dispositif à faisceau de particules chargées comprend : une source de particules chargées ; une électrode d'extraction qui extrait des particules chargées de la source de particules chargées ; une source de puissance d'électrode d'extraction qui applique une tension à l'électrode d'extraction ; une électrode d'accélération servant à accélérer les particules chargées ; une source de puissance d'accélération qui applique une tension à l'électrode d'accélération ; et une diode et une résistance qui sont connectées en série entre un étage intermédiaire de la source de puissance d'accélération et le côté sortie de la source de puissance d'électrode d'extraction.
(JA) 故障などで引出電極電源が引出電極に電圧を印加できなくなった場合でも、簡単な構成でチップの破損を防ぐ。 荷電粒子ビーム装置は、荷電粒子源と、前記荷電粒子源から荷電粒子を引き出す引出電極と、前記引出電極に電圧を印加する引出電極電源と、前記荷電粒子を加速するための加速電極と、前記加速電極に電圧を印加する加速電源と、前記加速電源の中段と前記引出電極電源の出力側との間に直列接続されるダイオード及び抵抗とを備える。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)