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1. (WO2019013118) 真空ポンプ、該真空ポンプに適用される温度調節用制御装置、検査用治具、及び温度調節機能部の診断方法
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国際公開番号: WO/2019/013118 国際出願番号: PCT/JP2018/025668
国際公開日: 17.01.2019 国際出願日: 06.07.2018
IPC:
F04D 19/04 (2006.01)
F 機械工学;照明;加熱;武器;爆破
04
液体用容積形機械;液体または圧縮性流体用ポンプ
D
非容積形ポンプ
19
特に圧縮性流体のための軸流ポンプ
02
多段ポンプ
04
高真空をつくるために特に採用されるもの,例.分子ポンプ
出願人:
エドワーズ株式会社 EDWARDS JAPAN LIMITED [JP/JP]; 千葉県八千代市吉橋1078番地1 1078-1, Yoshihashi, Yachiyo-shi Chiba 2768523, JP
発明者:
深美 英夫 FUKAMI Hideo; JP
石橋 政利 ISHIBASHI Masatoshi; JP
優先権情報:
2017-13832314.07.2017JP
2017-21199201.11.2017JP
発明の名称: (EN) VACUUM PUMP, TEMPERATURE ADJUSTMENT CONTROL DEVICE APPLIED TO VACUUM PUMP, INSPECTION TOOL, AND DIAGNOSIS METHOD FOR TEMPERATURE ADJUSTMENT FUNCTION UNIT
(FR) POMPE À VIDE, DISPOSITIF DE COMMANDE DE RÉGLAGE DE TEMPÉRATURE APPLIQUÉ À UNE POMPE À VIDE, OUTIL D'INSPECTION ET PROCÉDÉ DE DIAGNOSTIC POUR UNITÉ DE FONCTION DE RÉGLAGE DE TEMPÉRATURE
(JA) 真空ポンプ、該真空ポンプに適用される温度調節用制御装置、検査用治具、及び温度調節機能部の診断方法
要約:
(EN) [Problem] To provide: a vacuum pump that is capable of self-diagnosing a temperature adjustment function by a simple device and carrying out generic inspection without needing a large inspection device; a temperature adjustment control device applied to the vacuum pump; an inspection tool; and a diagnosis method for a temperature adjustment function unit. [Solution] In step 5, an inspection program determines whether or not a simulated temperature is 80 degrees by detecting, by use of a voltage value acquired through voltage-conversion, a fixed resistance R1 corresponding to a TMS temperature sensor 155. Upon detection that the simulated temperature is 80 degrees, the process advances to step 6, and a simulated output corresponding to turning-ON of a TMS heater 151 between a terminal 311 and a terminal 309 of a TMS control device 300 is performed. In step 7, the inspection program determines whether or not the simulated temperature is 150 degrees by detecting, by use of a voltage value acquired through voltage-conversion, a fixed resistance R2 corresponding to the TMS temperature sensor 155. Upon detection that the simulated temperature is 150 degrees, the process advances to step 8, and the output current flowing between the terminal 311 and the terminal 309 of the TMS control device 300 is cut.
(FR) Le problème décrit par la présente invention est de fournir: une pompe à vide qui est capable de diagnostiquer automatiquement une fonction de réglage de température par un dispositif simple et de réaliser une inspection générique sans avoir besoin d'un grand dispositif d'inspection; un dispositif de commande de réglage de température appliqué à la pompe à vide; un outil d'inspection; et un procédé de diagnostic pour une unité de fonction de réglage de température. La solution à l'étape 5 concerne un programme d'inspection qui détermine si une température simulée est de 80 degrés par détection, à l'aide d'une valeur de tension acquise par conversion de tension, d'une résistance fixe R1 correspondant à un capteur de température TMS 155. Lorsque la température simulée est de 80 degrés, le processus passe à l'étape 6, et une sortie simulée correspondant à la mise sous tension d'un dispositif de chauffage TMS 151 entre une borne 311 et une borne 309 d'un dispositif de commande TMS 300 est générée. À l'étape 7, le programme d'inspection détermine si la température simulée est de 150 degrés par détection, à l'aide d'une valeur de tension acquise par conversion de tension, d'une résistance fixe R2 correspondant au capteur de température TMS 155. Lorsque la température simulée est de 150 degrés, le processus passe à l'étape 8, et le courant de sortie circulant entre la borne 311 et la borne 309 du dispositif de commande TMS 300 est coupé.
(JA) 【課題】大規模な検査装置が不要で、温度調節機能を簡単な装置で自己診断でき、汎用的に検査の行なえる真空ポンプ、該真空ポンプに適用される温度調節用制御装置、検査用治具、及び温度調節機能部の診断方法を提供する。 【解決手段】ステップ5では、検査用プログラムがTMS温度センサ155に相当する固定抵抗R1を電圧変換された電圧値で検出することで擬似温度が80度か否かを判断する。擬似温度が80度であることを検出すると次のステップ6に進みTMS制御装置300の端子309と端子311間にTMSヒータ151をONさせることに相当する模擬的な出力を行なう。ステップ7では、検査用プログラムがTMS温度センサ155に相当する固定抵抗R2を電圧変換された電圧値で検出することで擬似温度が150度か否かを判断する。擬似温度が150度であることを検出すると次のステップ8に進みTMS制御装置300の端子309と端子311間に流れていた出力電流を切断する。
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アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)