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1. (WO2019013111) レギュレーションプレート、アノードホルダ、及び基板ホルダ
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国際公開番号: WO/2019/013111 国際出願番号: PCT/JP2018/025622
国際公開日: 17.01.2019 国際出願日: 06.07.2018
IPC:
C25D 17/10 (2006.01) ,H01L 21/683 (2006.01)
C 化学;冶金
25
電気分解または電気泳動方法;そのための装置
D
電気分解または電気泳動による被覆方法;電鋳;電気分解による加工品の接合;そのための装置
17
電解被覆用槽の構造部品またはその組立体
10
電極
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
683
支持または把持のためのもの
出願人:
株式会社荏原製作所 EBARA CORPORATION [JP/JP]; 東京都大田区羽田旭町11番1号 11-1, Haneda Asahi-cho, Ota-ku, Tokyo 1448510, JP
発明者:
下村 直樹 SHIMOMURA, Naoki; JP
長井 瑞樹 NAGAI, Mizuki; JP
代理人:
小野 新次郎 ONO, Shinjiro; JP
宮前 徹 MIYAMAE, Toru; JP
鐘ヶ江 幸男 KANEGAE, Yukio; JP
渡邊 誠 WATANABE, Makoto; JP
優先権情報:
2017-13537011.07.2017JP
発明の名称: (EN) REGULATION PLATE, ANODE HOLDER, AND SUBSTRATE HOLDER
(FR) PLAQUE DE RÉGULATION, SUPPORT D'ANODE ET SUPPORT DE SUBSTRAT
(JA) レギュレーションプレート、アノードホルダ、及び基板ホルダ
要約:
(EN) The purpose of the present invention is to partially or locally control the thickness of a plating film on a square substrate. Provided is a regulation plate for regulating current between an anode and a square substrate. This regulation plate has: a body section having an edge part forming a square opening wherethrough the current passes; and a detachable shielding member capable of shielding at least a portion of the square opening.
(FR) La présente invention vise à régler partiellement ou localement l'épaisseur d'un film de placage sur un substrat carré. L'invention concerne une plaque de régulation destinée à réguler le courant entre une anode et un substrat carré. Cette plaque de régulation comprend : une section de corps ayant une partie bord formant une ouverture carrée par laquelle passe le courant ; et un élément de protection amovible apte à protéger au moins une partie de l'ouverture carrée.
(JA) 形基板へのめっき膜厚を部分的又は局所的に制御する。 アノードと角形基板との間の電流を調整するためのレギュレーションプレートが提供される。このレギュレーションプレートは、電流が通過する角形開口を形成する縁部を有する本体部と、角形開口の少なくとも一部を遮蔽するための着脱可能な遮蔽部材と、を有する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)