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1. (WO2019012959) セラミックスヒータ
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国際公開番号: WO/2019/012959 国際出願番号: PCT/JP2018/023863
国際公開日: 17.01.2019 国際出願日: 22.06.2018
IPC:
H05B 3/02 (2006.01) ,H01L 21/02 (2006.01) ,H05B 3/20 (2006.01) ,H05B 3/74 (2006.01)
H 電気
05
他に分類されない電気技術
B
電気加熱;他に分類されない電気照明
3
抵抗加熱
02
細部
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
H 電気
05
他に分類されない電気技術
B
電気加熱;他に分類されない電気照明
3
抵抗加熱
20
2次元の平面の表面をもつ発熱素子,例.プレートヒータ
H 電気
05
他に分類されない電気技術
B
電気加熱;他に分類されない電気照明
3
抵抗加熱
68
特に料理板あるいは類似加熱板に適した加熱装置
74
非金属板
出願人:
住友電気工業株式会社 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD. [JP/JP]; 大阪府大阪市中央区北浜四丁目5番33号 5-33, Kitahama 4-chome, Chuo-ku, Osaka-shi, Osaka 5410041, JP
発明者:
西本 悦弘 NISHIMOTO Yoshihiro; JP
先田 成伸 SAKITA Shigenobu; JP
三雲 晃 MIKUMO Akira; JP
代理人:
中田 元己 NAKATA Motomi; JP
森田 剛史 MORITA Takeshi; JP
高城 政浩 TAKAGI Masahiro; JP
緒方 大介 OGATA Daisuke; JP
優先権情報:
2017-13682113.07.2017JP
発明の名称: (EN) CERAMIC HEATER
(FR) DISPOSITIF DE CHAUFFAGE EN CÉRAMIQUE
(JA) セラミックスヒータ
要約:
(EN) This ceramic heater is provided with: a substrate placing table, which has a substrate placing surface as the upper surface thereof, and which has a disc-shape, said substrate placing table being formed of a ceramic material; a plurality of heat generating circuits respectively embedded in a plurality of zones of the substrate placing table when viewed from the substrate placing surface side; a plurality of electrode terminals connected to end sections of the heat generating circuits, respectively; a plurality of power supply units connected to the electrode terminals, respectively; a cylindrical supporting body connected to a lower surface center section of the substrate placing table; and a disc-shaped insulator disposed on the inner side of the cylindrical supporting body such that the insulator faces the substrate placing table. The power supply units are disposed to extend toward the insulator from the electrode terminals, then, are gathered to, along the insulator, a center section of the insulator, and extend from an insulator surface on the reverse side of a surface facing the substrate placing table.
(FR) L'invention concerne un dispositif de chauffage en céramique comprenant : une table de placement de substrat, qui présente une surface de placement de substrat en tant que surface supérieure de ce dernier, et qui a la forme d'un disque, ladite table de placement de substrat étant constituée d'un matériau céramique ; une pluralité de circuits de production de chaleur, respectivement intégrés dans une pluralité de zones de la table de placement de substrat lorsqu'ils sont vus depuis le côté surface de placement de substrat ; une pluralité de bornes d'électrodes, respectivement connectées à des sections d'extrémité des circuits de production de chaleur ; une pluralité d'unités d'alimentation électrique, respectivement connectées aux bornes d'électrodes ; un corps de support cylindrique, relié à une section centrale de surface inférieure de la table de placement de substrat ; et un isolant en forme de disque, disposé sur le côté interne du corps de support cylindrique de sorte que l'isolant soit face à la table de placement de substrat. Les unités d'alimentation électrique sont disposées de façon à s'étendre vers l'isolant à partir des bornes d'électrodes, puis sont rassemblées, le long de l'isolant, vers une section centrale de l'isolant, et s'étendent à partir d'une surface d'isolant sur le côté inverse d'une surface faisant face à la table de placement de substrat.
(JA) 上面に基板載置面を有する円板形状のセラミックスからなる基板載置台と、基板載置面側から見て、基板載置台の複数のゾーンにそれぞれ埋設された複数の発熱回路と、複数の発熱回路の端部にそれぞれ接続された複数の電極端子と、複数の電極端子にそれぞれ接続された複数の給電部と、基板載置台の下面中央部に接続された筒状支持体と、筒状支持体の内側に基板載置台と対向するように配置された円板状の絶縁体と、を備える。複数の給電部は、複数の電極端子から絶縁体に向かって延在するように配置され、かつ、絶縁体に沿って絶縁体の中心部に集められ絶縁体の基板載置台と対向する面とは反対側の面から延出している、セラミックスヒータ。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)