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1. (WO2019012906) プラズマ発生装置、これを備えた発光分析装置及び質量分析装置、並びに、装置状態判定方法
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国際公開番号: WO/2019/012906 国際出願番号: PCT/JP2018/022680
国際公開日: 17.01.2019 国際出願日: 14.06.2018
IPC:
H05H 1/30 (2006.01) ,G01N 21/73 (2006.01) ,G01N 27/62 (2006.01) ,H01J 49/10 (2006.01)
H 電気
05
他に分類されない電気技術
H
プラズマ技術;加速された荷電粒子のまたは中性子の発生;中性分子または原子ビームの発生または加速
1
プラズマの生成;プラズマの取扱い
24
プラズマの発生
26
プラズマトーチ
30
電磁界を用いるもの,例.高周波またはマイクロ波エネルギー
G 物理学
01
測定;試験
N
材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
21
光学的手段,すなわち.赤外線,可視光線または紫外線を使用することによる材料の調査または分析
62
調査される材料が励起され,それにより光を発しまたは入射光の波長に変化を生ずるシステム
71
熱的励起
73
プラズマバーナまたはプラズマトーチを用いるもの
G 物理学
01
測定;試験
N
材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
27
電気的,電気化学的,または磁気的手段の利用による材料の調査または分析
62
ガスのイオン化の調査によるもの;放電の調査によるもの,例.陰極の放射
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
49
粒子分光器または粒子分離管
02
細部
10
イオン源;イオン銃
出願人:
株式会社島津製作所 SHIMADZU CORPORATION [JP/JP]; 京都府京都市中京区西ノ京桑原町1番地 1, Nishinokyo-Kuwabara-cho, Nakagyo-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6048511, JP
発明者:
伊奈 健一 INA, Kenichi; JP
代理人:
吉本 力 YOSHIMOTO, Tsutomu; JP
新宅 将人 SHINTAKU, Masato; JP
優先権情報:
2017-13672913.07.2017JP
発明の名称: (EN) PLASMA GENERATING DEVICE, LIGHT EMISSION ANALYSIS DEVICE AND MASS ANALYSIS DEVICE COMPRISING SAID PLASMA GENERATING DEVICE, AND DEVICE STATUS EVALUATION METHOD
(FR) DISPOSITIF DE GÉNÉRATION DE PLASMA, DISPOSITIF D'ANALYSE D'ÉMISSION DE LUMIÈRE ET DISPOSITIF D'ANALYSE DE MASSE COMPRENANT LEDIT DISPOSITIF DE GÉNÉRATION DE PLASMA, ET PROCÉDÉ D'ÉVALUATION D'ÉTAT DE DISPOSITIF
(JA) プラズマ発生装置、これを備えた発光分析装置及び質量分析装置、並びに、装置状態判定方法
要約:
(EN) A high frequency power supply unit (2) supplies high frequency power to an induction coil. A status evaluation processing unit (81) evaluates the status of a plasma generating device on the basis of changes in the frequency of the high frequency power supplied to the induction coil by the high frequency power supply unit (2). By evaluating the status of the plasma generating device using changes in the frequency of the high frequency power supplied to the induction coil as an index, it is possible to determine the status of the device more accurately on the basis of stabilized evaluation criteria.
(FR) Unité d'alimentation électrique haute fréquence (2) fournissant une puissance haute fréquence à une bobine d'induction. Une unité de traitement d'évaluation d'état (81) évalue l'état d'un dispositif de génération de plasma sur la base de changements de la fréquence de la puissance haute fréquence fournie à la bobine d'induction par l'unité d'alimentation électrique haute fréquence (2). En évaluant l'état du dispositif de génération de plasma à l'aide de changements de la fréquence de la puissance haute fréquence fournie à la bobine d'induction en tant qu'indice, il est possible de déterminer l'état du dispositif de manière plus précise sur la base de critères d'évaluation stabilisés.
(JA) 高周波電力供給部(2)が、誘導コイルに高周波電力を供給する。状態判定処理部(81)が、高周波電力供給部(2)により誘導コイルに供給される高周波電力の周波数の変化に基づいて、プラズマ発生装置の状態を判定する。誘導コイルに供給される高周波電力の周波数の変化を基準にして、プラズマ発生装置の状態を判定することにより、安定した判定基準に基づいて、装置の状態をより正確に判定することができる。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)