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1. (WO2019009393) 光学デバイス及びその製造方法
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国際公開番号: WO/2019/009393 国際出願番号: PCT/JP2018/025635
国際公開日: 10.01.2019 国際出願日: 06.07.2018
IPC:
G02B 26/00 (2006.01) ,B81B 3/00 (2006.01) ,G01B 9/02 (2006.01) ,G01J 3/45 (2006.01)
G 物理学
02
光学
B
光学要素,光学系,または光学装置
26
可動または変形可能な光学要素を用いて,光の強度,色,位相,偏光または方向を制御,例.スイッチング,ゲーティング,変調する光学装置または光学的配置
B 処理操作;運輸
81
マイクロ構造技術
B
マイクロ構造装置またはシステム,例.マイクロマシン装置
3
可撓性の,または変形可能な要素,例.弾性のある舌片または薄膜,からなる装置
G 物理学
01
測定;試験
B
長さ,厚さまたは同種の直線寸法の測定;角度の測定;面積の測定;表面または輪郭の不規則性の測定
9
このサブグループに記述され,かつ光学的測定手段の使用によって特徴づけられた計器
02
干渉計
G 物理学
01
測定;試験
J
赤外線,可視光線または紫外線の強度,速度,スペクトル,偏光,位相またはパルスの測定;色の測定;放射温度測定
3
分光測定;分光光度測定;モノクロメータ;色の測定
28
スペクトルの調査
45
干渉分光測定
出願人:
浜松ホトニクス株式会社 HAMAMATSU PHOTONICS K.K. [JP/JP]; 静岡県浜松市東区市野町1126番地の1 1126-1, Ichino-cho, Higashi-ku, Hamamatsu-shi, Shizuoka 4358558, JP
発明者:
杉本 達哉 SUGIMOTO Tatsuya; JP
鈴木 智史 SUZUKI Tomofumi; JP
港谷 恭輔 KOTANI Kyosuke; JP
代理人:
長谷川 芳樹 HASEGAWA Yoshiki; JP
黒木 義樹 KUROKI Yoshiki; JP
柴山 健一 SHIBAYAMA Kenichi; JP
優先権情報:
2017-13309306.07.2017JP
2017-23502107.12.2017JP
発明の名称: (EN) OPTICAL DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME
(FR) DISPOSITIF OPTIQUE ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
(JA) 光学デバイス及びその製造方法
要約:
(EN) The purpose of the present invention is to provide an optical device, and a method for manufacturing the same, with which it is possible to move a movable part a great deal along a prescribed direction while suppressing sticking. This optical device (10) comprises: a base (12); a movable part (11) having an optical function part (11a); elastic support parts (14, 15) that support the movable part (11) such that the movable part is capable of moving along a first direction; a first comb-tooth electrode (161) provided to the base (12); and a second comb-tooth electrode (162) provided to the movable part (11) and/or the elastic support parts (14, 15), the second comb-tooth electrode having a plurality of second comb teeth. The elastic support parts (14, 15) have torsion bars (147, 157) extending along a second direction perpendicular to the first direction, and levers (141, 151) to which the torsion bars (147, 157) are connected. The second comb-tooth electrode (162) is provided to a portion of the movable part and/or the elastic support parts that is positioned closer to the optical function part (11a) than are the torsion bars (147, 157). Adjacent first teeth (161a) and second teeth (162a) mesh with each other in the direction, among the second direction and a third direction perpendicular to the first direction and to the second direction, in which the external force resistance of the movable part is greatest.
(FR) La présente invention a pour objet de fournir un dispositif optique, et son procédé de fabrication, au moyen desquels il est possible de grandement déplacer une partie mobile le long d'une direction prescrite tout en supprimant l'adhérence. Ledit dispositif optique (10) comprend : une base (12) ; une partie mobile (11) comprenant une partie de fonction optique (11a) ; des parties de support élastiques (14, 15) qui supportent la partie mobile (11) de telle sorte que la partie mobile puisse se déplacer le long d'une première direction ; une première électrode en forme de peigne (161) disposée sur la base (12) ; et une deuxième électrode en dents de peigne (162) disposée sur la partie mobile (11) et/ou les parties de support élastiques (14, 15), la deuxième électrode en dents de peigne comprenant une pluralité de deuxièmes dents de peigne. Les parties de support élastiques (14, 15) comprennent des barres de torsion (147, 157) s'étendant le long d'une deuxième direction perpendiculaire à la première direction, et des leviers (141, 151) auxquels les barres de torsion (147, 157) sont reliées. La deuxième électrode en dents de peigne (162) est disposée sur une partie de la partie mobile et/ou les parties de support élastiques qui sont positionnées plus près de la partie de fonction optique (11a) que ne le sont les barres de torsion (147, 157). Des premières dents (161a) et des deuxièmes dents (162a) adjacentes s'engrènent mutuellement dans la direction, parmi la deuxième direction et une troisième direction perpendiculaires à la première direction et à la deuxième direction, dans laquelle la résistance à la force externe de la partie mobile est la plus grande.
(JA) 本発明は、スティッキングの発生を抑制しつつ、可動部を所定方向に沿って大きく移動させることができる光学デバイス及びその製造方法を提供することを目的とする。 本発明の光学デバイス(10)は、ベース(12)と、光学機能部(11a)を有する可動部(11)と、可動部(11)が第1方向に沿って移動可能となるように可動部を支持する弾性支持部(14,15)と、ベース(12)に設けられた第1櫛歯電極(161)と、可動部(11)及び弾性支持部(14,15)の少なくとも一方に設けられた複数の第2櫛歯を有する第2櫛歯電極(162)と、を備える。弾性支持部(14,15)は、第1方向に垂直な第2方向に沿って延在するトーションバー(147,157)と、トーションバー(147,157)が接続されたレバー(141,151)と、を有する。第2櫛歯電極(162)は、可動部及び弾性支持部の少なくとも一方のうちトーションバー(147,157)よりも光学機能部側(11a)に位置する部分に設けられている。隣り合う第1櫛歯(161a)と第2櫛歯(162a)とは、第2方向、又は、第1方向及び第2方向に垂直な第3方向のうち、可動部の外力耐性が高い方向において互いに向かい合っている。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)