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1. (WO2019009391) 光モジュール
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国際公開番号: WO/2019/009391 国際出願番号: PCT/JP2018/025633
国際公開日: 10.01.2019 国際出願日: 06.07.2018
IPC:
G02B 26/00 (2006.01) ,G01B 9/02 (2006.01) ,G01J 3/45 (2006.01) ,G02B 7/198 (2006.01)
G 物理学
02
光学
B
光学要素,光学系,または光学装置
26
可動または変形可能な光学要素を用いて,光の強度,色,位相,偏光または方向を制御,例.スイッチング,ゲーティング,変調する光学装置または光学的配置
G 物理学
01
測定;試験
B
長さ,厚さまたは同種の直線寸法の測定;角度の測定;面積の測定;表面または輪郭の不規則性の測定
9
このサブグループに記述され,かつ光学的測定手段の使用によって特徴づけられた計器
02
干渉計
G 物理学
01
測定;試験
J
赤外線,可視光線または紫外線の強度,速度,スペクトル,偏光,位相またはパルスの測定;色の測定;放射温度測定
3
分光測定;分光光度測定;モノクロメータ;色の測定
28
スペクトルの調査
45
干渉分光測定
G 物理学
02
光学
B
光学要素,光学系,または光学装置
7
光学要素用のマウント,調節手段,または光密結合
18
プリズム用;反射鏡用
182
反射鏡用
198
反射鏡の支持に関連して反射鏡を調節する手段をもつもの
出願人:
浜松ホトニクス株式会社 HAMAMATSU PHOTONICS K.K. [JP/JP]; 静岡県浜松市東区市野町1126番地の1 1126-1, Ichino-cho, Higashi-ku, Hamamatsu-shi, Shizuoka 4358558, JP
発明者:
鈴木 智史 SUZUKI Tomofumi; JP
港谷 恭輔 KOTANI Kyosuke; JP
杉本 達哉 SUGIMOTO Tatsuya; JP
代理人:
長谷川 芳樹 HASEGAWA Yoshiki; JP
黒木 義樹 KUROKI Yoshiki; JP
柴山 健一 SHIBAYAMA Kenichi; JP
優先権情報:
2017-13308906.07.2017JP
発明の名称: (EN) OPTICAL MODULE
(FR) MODULE OPTIQUE
(JA) 光モジュール
要約:
(EN) This optical module is provided with a mirror unit and a beam splitter unit. The mirror unit is provided with: a base having a main surface; a movable mirror; a first fixed mirror; and a drive unit. The beam splitter unit, the movable mirror, and the first fixed mirror form a first interference optical system for measurement light. A mirror surface of the movable mirror and a mirror surface of the first fixed mirror extend in a plane parallel to the main surface, and face one side in a first direction orthogonal to the main surface. The movable mirror, the drive unit, and at least a portion of the optical path between the beam splitter unit and the first fixed mirror are disposed in an airtight space.
(FR) La présente invention concerne un module optique comportant une unité de miroir et une unité de diviseur de faisceau. L'unité de miroir comporte : une base présentant une surface principale ; un miroir mobile ; un premier miroir fixe ; et une unité d'entraînement. L'unité de diviseur de faisceau, le miroir mobile et le premier miroir fixe forment un premier système optique d 'interférence destiné à la lumière de mesure. Une surface de miroir du miroir mobile et une surface de miroir du premier miroir fixe s'étendent dans un plan parallèle à la surface principale et se trouvent en regard dans une première direction orthogonale à la surface principale. Le miroir mobile, l'unité d'entraînement et au moins une partie du chemin optique entre l'unité de diviseur de faisceau et le premier miroir fixe se trouvent dans un espace étanche à l'air.
(JA) 光モジュールは、ミラーユニットと、ビームスプリッタユニットと、を備える。ミラーユニットは、主面を有するベースと、可動ミラーと、第1固定ミラーと、駆動部と、を有する。ビームスプリッタユニットは、可動ミラー及び第1固定ミラーと共に測定光について第1干渉光学系を構成している。可動ミラーのミラー面及び第1固定ミラーのミラー面は、主面に平行な平面に沿っており、主面に垂直な第1方向における一方の側に向いている。可動ミラー及び駆動部、並びに、ビームスプリッタユニットと第1固定ミラーとの間の光路の少なくとも一部は、気密空間に配置されている。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)