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1. (WO2019009365) フェニル基含有ポリシロキサンを含有する仮接着剤
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国際公開番号: WO/2019/009365 国際出願番号: PCT/JP2018/025542
国際公開日: 10.01.2019 国際出願日: 05.07.2018
IPC:
H01L 21/304 (2006.01) ,C09J 183/04 (2006.01) ,C09J 183/07 (2006.01) ,C09J 201/02 (2006.01) ,H01L 21/02 (2006.01) ,H01L 21/683 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
04
少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
18
不純物,例.ドーピング材料,を含むまたは含まない周期律表第IV族の元素またはA↓I↓I↓IB↓V化合物から成る半導体本体を有する装置
30
21/20~21/26に分類されない方法または装置を用いる半導体本体の処理
302
表面の物理的性質または形状を変換するため,例.エッチング,ポリシング,切断
304
機械的処理,例.研摩,ポリシング,切断
C 化学;冶金
09
染料;ペイント;つや出し剤;天然樹脂;接着剤;他に分類されない組成物;他に分類されない材料の応用
J
接着剤;接着方法一般の非機械的観点;他に分類されない接着方法;物質の接着剤としての使用
183
主鎖のみに,いおう,窒素,酸素または炭素を含みまたは含まずにけい素を含む結合を形成する反応によって得られる高分子化合物に基づく接着剤;そのような重合体の誘導体に基づく接着剤
04
ポリシロキサン
C 化学;冶金
09
染料;ペイント;つや出し剤;天然樹脂;接着剤;他に分類されない組成物;他に分類されない材料の応用
J
接着剤;接着方法一般の非機械的観点;他に分類されない接着方法;物質の接着剤としての使用
183
主鎖のみに,いおう,窒素,酸素または炭素を含みまたは含まずにけい素を含む結合を形成する反応によって得られる高分子化合物に基づく接着剤;そのような重合体の誘導体に基づく接着剤
04
ポリシロキサン
07
不飽和脂肪族基に結合したけい素を含むもの
C 化学;冶金
09
染料;ペイント;つや出し剤;天然樹脂;接着剤;他に分類されない組成物;他に分類されない材料の応用
J
接着剤;接着方法一般の非機械的観点;他に分類されない接着方法;物質の接着剤としての使用
201
不特定の高分子化合物に基づく接着剤
02
特定の基の存在によって特徴づけられるもの
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
683
支持または把持のためのもの
出願人:
日産化学株式会社 NISSAN CHEMICAL CORPORATION [JP/JP]; 東京都中央区日本橋二丁目5番1号 5-1, Nihonbashi 2-chome, Chuo-ku, Tokyo 1036119, JP
発明者:
森谷 俊介 MORIYA, Shunsuke; JP
榎本 智之 ENOMOTO, Tomoyuki; JP
新城 徹也 SHINJO, Tetsuya; JP
荻野 浩司 OGINO, Hiroshi; JP
澤田 和宏 SAWADA, Kazuhiro; JP
代理人:
特許業務法人はなぶさ特許商標事務所 HANABUSA PATENT & TRADEMARK OFFICE; 東京都千代田区神田駿河台3丁目2番地 新御茶ノ水アーバントリニティ Shin-Ochanomizu Urban Trinity, 2, Kandasurugadai 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1010062, JP
優先権情報:
2017-13309406.07.2017JP
発明の名称: (EN) TEMPORARY ADHESIVE AGENT CONTAINING PHENYL-GROUP-CONTAINING POLYSILOXANE
(FR) AGENT ADHÉSIF TEMPORAIRE CONTENANT UN POLYSILOXANE CONTENANT UN GROUPE PHÉNYLE
(JA) フェニル基含有ポリシロキサンを含有する仮接着剤
要約:
(EN) Provided are: a temporary adhesive agent which has excellent spin-coatability onto a circuit surface of a wafer or a support, also has excellent heat resistance during the bonding to an adhesive layer or during the processing of a rear surface of a wafer, can be removed easily after the polishing of a rear surface of a wafer, and makes it possible to remove an adhesive agent adhered onto a wafer or a support after removing of the temporary adhesive agent; a laminate containing the temporary adhesive agent; and a processing method using the temporary adhesive agent. An adhesive agent which can removably adhere between a support and a circuit surface of a wafer and can be used in the processing of a rear surface of a wafer, the adhesive agent being characterized by containing a component (A) that can be cured through a hydroxylation reaction and a component (B) that contains a phenyl-group-containing polyorganosiloxane, wherein the ratio of the content of the component (A) in % by mass to the content of the component (B) in % by mass is 95:5 to 30:70. The adhesive agent is applied onto a first substrate to form an adhesive layer, then a second substrate is bonded to the adhesive layer, and then the resultant laminate is heated from the first substrate side to cure the adhesive layer. After the completion of the processing of the laminate, delamination is allowed to cause between the first substrate and the adhesive layer and between the second substrate and the adhesive layer.
(FR) L'invention concerne : un agent adhésif temporaire qui a une excellente aptitude au revêtement par centrifugation sur une surface de circuit d'une tranche ou d'un support, qui a également une excellente résistance à la chaleur pendant la liaison à une couche adhésive ou pendant le traitement d'une surface arrière d'une tranche, peut être retiré facilement après le polissage d'une surface arrière d'une tranche, et permet de retirer un agent adhésif collé sur une tranche ou un support après retrait de l'agent adhésif temporaire; un stratifié contenant l'agent adhésif temporaire; et un procédé de traitement utilisant l'agent adhésif temporaire. Un agent adhésif qui peut être collé de manière amovible entre un support et une surface de circuit d'une tranche et qui peut être utilisé dans le traitement d'une surface arrière d'une tranche, l'agent adhésif étant caractérisé en ce qu'il contient un composant (A) qui peut être durci par l'intermédiaire d'une réaction d'hydroxylation et d'un composant (B) qui contient un polyorganosiloxane contenant un groupe phényle, le rapport de la teneur du composant (A) en % en masse au contenu du composant (B) en % en masse étant de 95 : 5 à 30 : 70. L'agent adhésif est appliqué sur un premier substrat pour former une couche adhésive, puis un second substrat est lié à la couche adhésive, puis le stratifié résultant est chauffé à partir du premier côté substrat pour durcir la couche adhésive. Après l'achèvement du traitement du stratifié, une délamination est autorisée à être provoquée entre le premier substrat et la couche adhésive et entre le second substrat et la couche adhésive.
(JA) ウエハーの回路面や支持体へのスピンコート性に優れ、接着層との接合時やウエハー裏面の加工時における耐熱性に優れ、ウエハー裏面の研磨後における剥離が容易で、剥離後におけるウエハーや支持体に付着した接着剤の除去が容易である仮接着剤及びその積層体、それを用いた加工方法を提供する。支持体とウエハーの回路面との間で剥離可能に接着し、ウエハーの裏面を加工するための接着剤であり、接着剤がヒドロシリル化反応により硬化する成分(A)と、フェニル基含有ポリオルガノシロキサンとを含む成分(B)とを含み、成分(A)と成分(B)が質量%で95:5~30:70の割合であることを特徴とする。この接着剤を第一基体上に塗布して接着層を形成してから第二基体を接合し、第一基体側から加熱して接着剤を硬化させる。この積層体の加工を終えると、第一基体、第二基体と接着層の間で剥離する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)