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1. (WO2019009363) 薬液、薬液収容体
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国際公開番号: WO/2019/009363 国際出願番号: PCT/JP2018/025534
国際公開日: 10.01.2019 国際出願日: 05.07.2018
IPC:
G03F 7/16 (2006.01) ,G03F 7/26 (2006.01) ,H01L 21/304 (2006.01)
G 物理学
03
写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
F
フォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造,例.印刷用,半導体装置の製造法用;そのための材料;そのための原稿;そのために特に適合した装置
7
フォトメカニカル法,例.フォトリソグラフ法,による凹凸化又はパターン化された表面,例.印刷表面,の製造;そのための材料,例.フォトレジストからなるもの;そのため特に適合した装置
16
塗布法;そのための装置
G 物理学
03
写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
F
フォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造,例.印刷用,半導体装置の製造法用;そのための材料;そのための原稿;そのために特に適合した装置
7
フォトメカニカル法,例.フォトリソグラフ法,による凹凸化又はパターン化された表面,例.印刷表面,の製造;そのための材料,例.フォトレジストからなるもの;そのため特に適合した装置
26
感光材料の処理;そのための装置
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
04
少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
18
不純物,例.ドーピング材料,を含むまたは含まない周期律表第IV族の元素またはA↓I↓I↓IB↓V化合物から成る半導体本体を有する装置
30
21/20~21/26に分類されない方法または装置を用いる半導体本体の処理
302
表面の物理的性質または形状を変換するため,例.エッチング,ポリシング,切断
304
機械的処理,例.研摩,ポリシング,切断
出願人:
富士フイルム株式会社 FUJIFILM CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区西麻布2丁目26番30号 26-30, Nishiazabu 2-chome, Minato-ku, Tokyo 1068620, JP
発明者:
上村 哲也 KAMIMURA Tetsuya; JP
代理人:
渡辺 望稔 WATANABE Mochitoshi; JP
伊東 秀明 ITOH Hideaki; JP
三橋 史生 MITSUHASHI Fumio; JP
優先権情報:
2017-13176805.07.2017JP
2018-12502729.06.2018JP
発明の名称: (EN) LIQUID MEDICINE, LIQUID MEDICINE STORAGE BODY
(FR) MÉDICAMENT LIQUIDE, CORPS POUR LE STOCKAGE DE MÉDICAMENT LIQUIDE
(JA) 薬液、薬液収容体
要約:
(EN) The present invention addresses the problem of providing: a liquid medicine that has excellent defect suppression properties; and a liquid medicine storage body. This liquid medicine contains an organic solvent that has a conductivity of no more than 10-5 S/m at 25℃ and a compound represented by general formula (I). Relative to the total mass thereof, the liquid medicine contains 0.10–100,000 mass ppt of the compound represented by general formula (I).
(FR) Le problème décrit par la présente invention est de fournir : un médicament liquide qui présente d'excellentes propriétés de suppression des défauts ; et un corps pour le stockage de médicament liquide. Ce médicament liquide contient un solvant organique qui a une conductivité d'au plus 10-5 S/m à 25 °C et un composé représenté par la formule générale (I). Par rapport à sa masse totale, le médicament liquide contient de 0,10 à 100 000 ppt de masse du composé représenté par la formule générale (I).
(JA) 本発明は、欠陥抑制性に優れる薬液、および、薬液収容体を提供することを課題とする。本発明の薬液は、25℃における導電率が10-5S/m以下の有機溶剤、および、一般式(I)で表される化合物を含有する薬液であって、一般式(I)で表される化合物の含有量が、薬液全質量に対して、0.10質量ppt~100000質量pptである。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)