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1. (WO2019009106) アクチュエータ、バルブ、流体供給システム、および半導体製造装置
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国際公開番号: WO/2019/009106 国際出願番号: PCT/JP2018/023882
国際公開日: 10.01.2019 国際出願日: 22.06.2018
IPC:
F15B 15/14 (2006.01) ,F16K 31/122 (2006.01) ,H01L 21/31 (2006.01)
F 機械工学;照明;加熱;武器;爆破
15
流体圧アクチュエータ;水力学または空気力学一般
B
流体手段によって作動する系一般;流体圧アクチュエータ,例.サーボモータ;他に分類されない流体圧系の細部
15
部材をある位置から他の位置へ移すための流体作動装置;それと組み合わせた伝動装置
08
モータユニットの構造に特徴のあるもの
14
直線シリンダ形
F 機械工学;照明;加熱;武器;爆破
16
機械要素または単位;機械または装置の効果的機能を生じ維持するための一般的手段
K
弁;栓;コック;作動のフロート;排気または吸気装置
31
操作手段;釈放装置
12
流体により作動されるもの
122
流体がピストンに作用するもの
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
04
少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
18
不純物,例.ドーピング材料,を含むまたは含まない周期律表第IV族の元素またはA↓I↓I↓IB↓V化合物から成る半導体本体を有する装置
30
21/20~21/26に分類されない方法または装置を用いる半導体本体の処理
31
半導体本体上への絶縁層の形成,例.マスキング用またはフォトリソグラフィック技術の使用によるもの;これらの層の後処理;これらの層のための材料の選択
出願人:
株式会社フジキン FUJIKIN INCORPORATED [JP/JP]; 大阪府大阪市西区立売堀2丁目3番2号 2-3-2, Itachibori, Nishi-ku, Osaka-shi, Osaka 5500012, JP
発明者:
三浦 尊 MIURA, Takeru; JP
篠原 努 SHINOHARA, Tsutomu; JP
中田 知宏 NAKATA, Tomohiro; JP
稲田 敏之 INADA, Toshiyuki; JP
渡辺 一誠 WATANABE, Kazunari; JP
近藤 研太 KONDO, Kenta; JP
佐藤 秀信 SATO, Hidenobu; JP
湯原 知子 YUHARA, Tomoko; JP
代理人:
特許業務法人ウィルフォート国際特許事務所 WILLFORT INTERNATIONAL PATENT FIRM; 東京都中央区日本橋小網町19-7 日本橋TCビル 1階 Nihonbashi TC Bldg. 1F, 19-7, Nihonbashi Koamicho, Chuo-ku, Tokyo 1030016, JP
優先権情報:
2017-13148404.07.2017JP
発明の名称: (EN) ACTUATOR, VALVE, FLUID SUPPLY SYSTEM, AND SEMICONDUCTOR PRODUCTION DEVICE
(FR) ACTIONNEUR, SOUPAPE, SYSTÈME D'ALIMENTATION EN FLUIDE ET DISPOSITIF DE PRODUCTION DE SEMI-CONDUCTEURS
(JA) アクチュエータ、バルブ、流体供給システム、および半導体製造装置
要約:
(EN) Provided are an actuator, a valve, a fluid supply system, and a semiconductor production device that make it possible for variations in an opening/closing speed to be reduced by means of a simple configuration. A valve (1) that comprises: a body (10) that has fluid passages (11b, 11c) formed therein; a diaphragm (15) that opens/closes the fluid passages; a stem (26) that can move toward and away from the diaphragm (15) to make the diaphragm (15) open/close the fluid passages (11b, 11c); a pressure-reducing valve (40) that is provided inside a casing and reduces the pressure of a drive fluid that is supplied from the outside to a prescribed pressure; and a drive part (30) that is provided inside the casing and uses drive fluid that the pressure-reducing valve (40) has reduced to the prescribed pressure to drive the stem (26).
(FR) L'invention concerne un actionneur, une soupape, un système d'alimentation en fluide et un dispositif de production de semi-conducteurs qui permettent de réduire les variations d'une vitesse d'ouverture/fermeture au moyen d'une configuration simple. Soupape (1) comprenant : un corps (10) présentant des passages de fluide (11b, 11c) formés à l'intérieur de celui-ci; un diaphragme (15) qui ouvre/ferme les passages de fluide; une tige (26) qui peut se rapprocher et s'éloigner du diaphragme (15) pour amener le diaphragme (15) à ouvrir/fermer les passages de fluide (11b, 11c); un détendeur (40) qui est disposé à l'intérieur d'un boîtier et qui réduit la pression d'un fluide d'entraînement qui est fourni de l'extérieur à une pression prescrite; et une partie d'entraînement (30) qui est disposée à l'intérieur du boîtier et utilise le fluide d'entraînement que le détendeur (40) a réduit à la pression prescrite pour entraîner la tige (26).
(JA) 簡易な構成で開閉速度のばらつきを低減することが可能なアクチュエータ、バルブ、流体供給システム、および半導体製造装置を提供する。 バルブ(1)は、流体通路(11b、11c)が形成されたボディ(10)と、流体通路を開閉するダイヤフラム(15)と、ダイヤフラム(15)により流体通路(11b、11c)を開閉させるために、ダイヤフラム(15)に対し近接および離間移動可能に設けられたステム(26)と、ケーシング内に設けられ、外部から供給される駆動流体の圧力を所定の圧力に減圧する減圧弁(40)と、ケーシング内に設けられ、減圧弁(40)により減圧された所定の圧力の駆動流体によりステム(26)を駆動する駆動部(30)とを備える。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)