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1. (WO2019009018) 石英ガラスルツボ
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国際公開番号: WO/2019/009018 国際出願番号: PCT/JP2018/022226
国際公開日: 10.01.2019 国際出願日: 11.06.2018
IPC:
C30B 29/06 (2006.01) ,C03B 20/00 (2006.01) ,C30B 15/10 (2006.01)
C 化学;冶金
30
結晶成長
B
単結晶成長;共晶物質の一方向固化または共析晶物質の一方向析出;物質のゾーンメルティングによる精製;特定構造を有する均質多結晶物質の製造;単結晶または特定構造を有する均質多結晶物質;単結晶または特定構造を有する均質多結晶物質の後処理;そのための装置
29
材料または形状によって特徴づけられた単結晶または特定構造を有する均質多結晶物質
02
元素
06
シリコン
C 化学;冶金
03
ガラス;鉱物またはスラグウール
B
ガラス、鉱物またはスラグウールの製造または成形;または、ガラス、鉱物またはスラグウールの製造または成形における補助プロセス
20
石英または溶融シリカ物品の製造に特に適合したプロセス
C 化学;冶金
30
結晶成長
B
単結晶成長;共晶物質の一方向固化または共析晶物質の一方向析出;物質のゾーンメルティングによる精製;特定構造を有する均質多結晶物質の製造;単結晶または特定構造を有する均質多結晶物質;単結晶または特定構造を有する均質多結晶物質の後処理;そのための装置
15
融液からの引出しによる単結晶成長,例.チョクラルスキー法
10
融液を支持するためのるつぼまたは容器
出願人:
株式会社SUMCO SUMCO CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区芝浦一丁目2番1号 2-1, Shibaura 1-chome, Minato-ku Tokyo 1058634, JP
発明者:
吉岡 拓麿 YOSHIOKA Takuma; JP
大原 真美 OHARA Masami; JP
代理人:
鷲頭 光宏 WASHIZU Mitsuhiro; JP
緒方 和文 OGATA Kazufumi; JP
黒瀬 泰之 KUROSE Yasuyuki; JP
優先権情報:
2017-13140804.07.2017JP
発明の名称: (EN) QUARTZ GLASS CRUCIBLE
(FR) CREUSET EN VERRE DE QUARTZ
(JA) 石英ガラスルツボ
要約:
(EN) [Problem] To provide a quartz glass crucible with which it is possible to achieve both enhancement of the manufacturing yield of silicon monocrystals and suppression of pinhole generation in the monocrystals. [Solutions] A quartz glass crucible 1 includes: a cylindrical straight body section 1a; a curved bottom section 1b; and a corner section 1c provided between the straight body section 1a and the bottom section 1b, wherein, in an upper section 1a1 of the straight body section 1a, the air-bubble content of an inner-surface-layer section between an inner surface and a depth of 0.5 mm therefrom is 0.2-2%, the air-bubble content of the inner-surface-layer section in a lower section 1a2 of the straight body section 1a is greater than 0.1% and equal to or less than 1.3 times a lower limit of the air-bubble content of the upper section 1a1 of the straight body section 1a, the air-bubble content of the inner-surface-layer section in the corner section 1c is greater than 0.1% and equal to or less than 0.5%, and the air-bubble content of the inner-surface-layer section in the bottom section 1b is equal to or less than 0.1%.
(FR) Le problème décrit par la présente invention est de pourvoir à un creuset en verre de quartz permettant d'obtenir à la fois l'amélioration du rendement de fabrication de monocristaux de silicium et la suppression de la formation de trous d'épingle dans les monocristaux. La solution selon l'invention porte sur un creuset en verre de quartz (1) qui comprend : une section de corps droit (1a) cylindrique ; une section inférieure (1b) incurvée ; et une section de coin (1c) disposée entre la section de corps droit (1a) et la section inférieure (1b). Dans une section supérieure (1a1) de la section de corps droit (1a), la teneur en bulles d'air d'une section de couche de surface interne entre une surface interne et une profondeur de 0,5 mm à partir de cette dernière est de 0,2 à 2 %, la teneur en bulles d'air de la section de couche de surface interne dans une section inférieure (1a2) de la section de corps droit (1a) est supérieure à 0,1 % et inférieure ou égale à 1,3 fois une limite inférieure de la teneur en bulles d'air de la section supérieure (1a1) de la section de corps droit (1a), la teneur en bulles d'air de la section de couche de surface interne dans la section de coin (1c) est supérieure à 0,1 % et inférieure ou égale à 0,5 %, et la teneur en bulles d'air de la section de couche de surface interne dans la section inférieure (1b) est inférieure ou égale à 0,1 %.
(JA) 【課題】シリコン単結晶の製造歩留まりの向上と単結晶中のピンホールの発生の抑制とを両立させることが可能な石英ガラスルツボを提供する。 【解決手段】石英ガラスルツボ1は、円筒状の直胴部1aと、湾曲した底部1bと、直胴部1aと底部1bとの間に設けられたコーナー部1cとを有し、直胴部1aの上部1aにおける内表面から深さ0.5mmまでの内側表層部の気泡含有率は0.2%以上2%以下であり、直胴部1aの下部1aにおける内側表層部の気泡含有率は0.1%よりも大きく直胴部1aの上部1aの気泡含有率の下限値の1.3倍以下であり、コーナー部1cにおける内側表層部の気泡含有率は0.1%よりも大きく0.5%以下であり、底部1bにおける内側表層部の気泡含有率は0.1%以下である。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
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アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)