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1. (WO2019008898) 樹脂膜形成用フィルム及び樹脂膜形成用複合シート
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国際公開番号: WO/2019/008898 国際出願番号: PCT/JP2018/018248
国際公開日: 10.01.2019 国際出願日: 11.05.2018
IPC:
B32B 27/00 (2006.01) ,H01L 21/301 (2006.01)
B 処理操作;運輸
32
積層体
B
積層体,すなわち平らなまたは平らでない形状,例.細胞状またはハニカム状,の層から組立てられた製品
27
本質的に合成樹脂からなる積層体
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
04
少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
18
不純物,例.ドーピング材料,を含むまたは含まない周期律表第IV族の元素またはA↓I↓I↓IB↓V化合物から成る半導体本体を有する装置
30
21/20~21/26に分類されない方法または装置を用いる半導体本体の処理
301
半導体本体を別個の部品に細分割するため,例.分離する
出願人:
リンテック株式会社 LINTEC CORPORATION [JP/JP]; 東京都板橋区本町23番23号 23-23, Honcho, Itabashi-ku, Tokyo 1730001, JP
発明者:
布施 啓示 FUSE Keishi; JP
代理人:
西澤 和純 NISHIZAWA Kazuyoshi; JP
五十嵐 光永 IGARASHI Koei; JP
加藤 広之 KATO Hiroyuki; JP
優先権情報:
2017-13298006.07.2017JP
発明の名称: (EN) RESIN FILM FORMING FILM AND RESIN FILM FORMING COMPOSITE SHEET
(FR) FILM FORMANT UN FILM DE RÉSINE ET FEUILLE COMPOSITE FORMANT UN FILM DE RÉSINE
(JA) 樹脂膜形成用フィルム及び樹脂膜形成用複合シート
要約:
(EN) This resin film forming film satisfies the following conditions (i) and (ii): (i) when a first test specimen manufactured using a first laminated body which comprises a plurality of the resin film forming films laminated together and has a size of 50 mm × 50 mm and a thickness of 200 μm is immersed in pure water for two hours, the first test specimen has a water absorption of 0.55% or less; and (ii) when a second test specimen manufactured using a second laminated body in which the resin film forming film is attached to a silicon mirror wafer has been left in an environment of 23°C and 50% RH for 30 minutes, and when the second test specimen after the elapse of the time has been immersed in pure water for two hours, an adhesive force between the resin film forming films or a cured product thereof and the silicon mirror wafer measured before and after the immersion exhibits an adhesive force change rate of 60% or less.
(FR) L'invention concerne un film formant un film de résine qui remplit les conditions suivantes (i) et (ii) : (i) lorsqu'un premier spécimen d'essai fabriqué au moyen d'un premier corps stratifié qui comprend une pluralité de films formant un film de résine stratifiés ensemble et présente une taille de 50 mm x 50 mm et une épaisseur de 200 µm est immergé dans de l'eau pure pendant deux heures, le premier spécimen d'essai présente une absorption d'eau de 0,55 % ou moins ; et (ii) lorsqu'un second spécimen d'essai fabriqué au moyen d'un second corps stratifié dans lequel le film formant un film de résine est fixé à une tranche miroir de silicium a été laissé dans un environnement de 23 °C et 50 % de RH pendant 30 minutes, et lorsque le second spécimen d'essai après l'écoulement du temps a été immergé dans de l'eau pure pendant deux heures, une force d'adhérence entre les films formant un film de résine ou un produit durci de ceux-ci et la tranche miroir de silicium mesurée avant et après l'immersion présente un taux de changement de force d'adhérence de 60 % ou moins.
(JA) この樹脂膜形成用フィルムは、以下の条件(i)及び(ii)を満たす。 (i)複数枚の前記樹脂膜形成用フィルムが積層されてなる、大きさが50mm×50mm、厚さが200μmの第1積層体を用いて作製した第1試験片を、純水中に2時間浸漬したとき、前記第1試験片の吸水率が0.55%以下となる。 (ii)前記樹脂膜形成用フィルムがシリコンミラーウエハに貼付されてなる第2積層体を用いて作製した第2試験片を、23℃、50%RHの環境下で30分経時させたときと、この経時後の第2試験片を純水中に2時間浸漬したときと、の浸漬前後において、樹脂膜形成用フィルム又はその硬化物と、シリコンミラーウエハと、の間の粘着力を測定したとき、粘着力変化率が60%以下となる。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)