このアプリケーションの一部のコンテンツは現時点では利用できません。
このような状況が続く場合は、にお問い合わせくださいフィードバック & お問い合わせ
1. (WO2019003499) 水晶発振式膜厚モニタ用のセンサヘッド
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

国際公開番号: WO/2019/003499 国際出願番号: PCT/JP2018/008466
国際公開日: 03.01.2019 国際出願日: 06.03.2018
IPC:
G01B 17/02 (2006.01) ,C23C 14/52 (2006.01)
G 物理学
01
測定;試験
B
長さ,厚さまたは同種の直線寸法の測定;角度の測定;面積の測定;表面または輪郭の不規則性の測定
17
亜音波,音波,または超音波振動の使用によって特徴づけられた測定装置
02
厚み測定用
C 化学;冶金
23
金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
C
金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般
14
被覆形成材料の真空蒸着,スパッタリングまたはイオン注入法による被覆
22
被覆の方法に特徴のあるもの
52
被覆工程の観察のための手段
出願人:
株式会社アルバック ULVAC, INC. [JP/JP]; 神奈川県茅ヶ崎市萩園2500番地 2500, Hagisono, Chigasaki-shi, Kanagawa 2538543, JP
発明者:
小熊 洋介 OGUMA Yousuke; JP
前田 章弘 MAEDA Akihiro; JP
海田 友紀 KAIDA Yuki; JP
小高 学 KOTAKA Manabu; JP
岡村 衡 OKAMURA Kou; JP
代理人:
特許業務法人青莪 SEIGA PATENT AND TRADEMARK CORPORATION; 東京都品川区西五反田8-1-14 最勝ビル9階 9th Fl., Saisho Bldg., 1-14, Nishi-Gotanda 8-chome, Shinagawa-ku, Tokyo 1410031, JP
優先権情報:
2017-12669428.06.2017JP
発明の名称: (EN) SENSOR HEAD FOR CRYSTAL-OSCILLATION-TYPE FILM THICKNESS MONITOR
(FR) TÊTE DE CAPTEUR D'UN DISPOSITIF DE SURVEILLANCE D'ÉPAISSEUR DE FILM DE TYPE À OSCILLATION DE CRISTAL
(JA) 水晶発振式膜厚モニタ用のセンサヘッド
要約:
(EN) Provided is a sensor head for a crystal-oscillation-type film thickness monitor that is capable of suppressing the stepping out of a stepper motor and the increase of motor excitation current. The sensor head comprises a sensor head body 1 having a motor Sm disposed therein, a holder 2 that has a plurality of crystal oscillation elements Co placed on the upper surface therof and is rotationally driven by the motor, and a mask body 3 that is attached to the sensor head body so as to cover the upper surface of the holder and has a film formation window 31 that is faced by one of the crystal oscillation elements. The part of the sensor head body positioned directly below the film formation window has a fixed first electrode 4 and second electrodes 5 that are electrically connected to each of the crystal oscillation elements and protrude from the bottom surface of the holder. When the holder rotates to a phase where one crystal oscillation element and the film formation window are vertically aligned, the first electrode and second electrode, which comprise the same metal, touch and are electrically connected. A lubricant supply means 4b for supplying solid lubricant to the surface of a second electrode before the same touches the first electrode is provided so as to be in front in the rotation direction of the holder.
(FR) L'invention concerne une tête de capteur d'un dispositif de surveillance d'épaisseur de film de type à oscillation de cristal qui peut supprimer le décalage d'un moteur pas à pas et l'augmentation du courant d'excitation de moteur. La tête de capteur comprend un corps de tête de capteur (1) comportant un moteur (Sm) situé en son sein, un support (2) qui comporte une pluralité d'éléments d'oscillation de cristal (Co) placés sur sa surface supérieure et qui est entraîné en rotation par le moteur, et un corps de masque (3) qui est fixé au corps de tête de capteur de façon à recouvrir la surface supérieure du support et qui comporte une fenêtre de formation de film (31) qui est en regard de l'un des éléments d'oscillation de cristal. La partie du corps de tête de capteur positionnée directement sous la fenêtre de formation de film comprend une première électrode fixe (4) et des secondes électrodes (5) qui sont électriquement connectées à chacun des éléments d'oscillation de cristal et font saillie à partir de la surface inférieure du support. Lorsque le support tourne jusqu'à une phase où un élément d'oscillation de cristal et la fenêtre de formation de film sont alignés verticalement, la première électrode et la seconde électrode, qui comprennent le même métal, se touchent et sont électriquement connectées. Un moyen d'alimentation en lubrifiant (4b) permettant de fournir un lubrifiant solide à la surface d'une seconde électrode avant que cette dernière ne touche la première électrode est prévu de manière à être devant dans la direction de rotation du support.
(JA) ステッピングモータの脱調や、前記モータの励磁電流の上昇が抑制できる水晶発振式膜厚モニタ用のセンサヘッドを提供する。 前記モータSmが配置されるセンサヘッド本体1と、上面に複数の水晶振動子Coが設置されて前記モータで回転駆動されるホルダ2と、ホルダの上面を覆うようにセンサヘッド本体に取り付けられ、一の水晶振動子が臨む成膜用窓31が開設されたマスク体3とを備える。成膜用窓の直下に位置するセンサヘッド本体の部分に固定の第1電極4と、各水晶振動子に夫々導通しホルダの下面に突設した第2電極5とを有し、1の水晶振動子と成膜用窓とが上下方向で合致する位相までホルダが回転されると、同種金属からなる第1電極と第2電極とが当接して導通する。ホルダの回転方向前方に設けられて、第1電極に当接する前の第2電極の表面に固体潤滑剤を供給する潤滑剤供給手段4bを備える。
front page image
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)