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1. (WO2019003345) 高周波電源装置及びそれを用いたプラズマ処理装置

Pub. No.:    WO/2019/003345    International Application No.:    PCT/JP2017/023767
Publication Date: Fri Jan 04 00:59:59 CET 2019 International Filing Date: Thu Jun 29 01:59:59 CEST 2017
IPC: H05H 1/46
Applicants: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC.
株式会社日立国際電気
Inventors: OSHIDA, Yoshiyuki
押田 善之
FUJIMOTO, Naoya
藤本 直也
KATO, Norikazu
加藤 規一
OKADA, Takeshi
岡田 健
TAKEDA, Tsuyoshi
竹田 剛
Title: 高周波電源装置及びそれを用いたプラズマ処理装置
Abstract:
【課題】 装置を小型化してコストを低減すると共に、安定した整合動作を行って電力効率を向上させることができる高周波電源装置及びそれを用いたプラズマ処理装置を提供する。 【解決手段】 複数の高周波電源61,64と整合器62,65とを備え、整合器62,65において、並列接続の可変容量コンデンサのみを設けて可変容量コンデンサの素子数を削減し、高周波電源61,64の整合演算部が、検出回路で検出された進行波と反射波に基づいて、反射波のレベルが小さくなるよう、整合器62,65の可変容量コンデンサの容量値を決定すると共に、高周波電源61,64の発振回路における発振周波数を調整して決定する高周波電源装置とそれを用いたプラズマ処理装置としている。