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1. (WO2019003259) プラズマ処理機
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国際公開番号: WO/2019/003259 国際出願番号: PCT/JP2017/023351
国際公開日: 03.01.2019 国際出願日: 26.06.2017
IPC:
H05H 1/34 (2006.01)
H 電気
05
他に分類されない電気技術
H
プラズマ技術;加速された荷電粒子のまたは中性子の発生;中性分子または原子ビームの発生または加速
1
プラズマの生成;プラズマの取扱い
24
プラズマの発生
26
プラズマトーチ
32
アークを用いるもの
34
細部,例.電極,ノズル
出願人:
株式会社FUJI FUJI CORPORATION [JP/JP]; 愛知県知立市山町茶碓山19番地 19, Chausuyama, Yama-machi, Chiryu-shi, Aichi 4728686, JP
発明者:
神藤 高広 JINDO, Takahiro; JP
瀧川 慎二 TAKIKAWA, Shinji; JP
丹羽 陽大 NIWA, Akihiro; JP
水野 草太 MIZUNO, Sota; JP
東田 明洋 HIGASHIDA, Akihiro; JP
代理人:
特許業務法人中部国際特許事務所 CHUBU PATENT OFFICE; 愛知県名古屋市中村区名駅南一丁目24番30号 名古屋三井ビルディング本館 10階 Nagoya Mitsui-Bldg. Honkan 10th Floor, 24-30, Meiekiminami 1-chome, Nakamura-ku, Nagoya-shi, Aichi 4500003, JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) PLASMA TREATMENT MACHINE
(FR) MACHINE DE TRAITEMENT AU PLASMA
(JA) プラズマ処理機
要約:
(EN) This plasma treatment machine, which treats the surface of a workpiece W by emitting a plasma gas, is provided with: a power source 16; an emission head 14 which generates a plasma gas by applying a voltage between a plurality of electrodes using the power source to, and emits the plasma gas from a nozzle to the surface of the workpiece W; a relative movement device 12 which moves the emission head and the workpiece relative to each other; and a control device 18, wherein the control device is configured to change treatment conditions on the basis of at least one among the status of the plasma treatment machine during the treatment and a treatment effect. Thus, it becomes possible to achieve optimization of replacement timing of the components of the emission head due to wear, and the stabilization of the treatment effect.
(FR) L'invention concerne une machine de traitement au plasma, qui traite la surface d'une pièce à travailler W par émission d'un gaz plasma, et qui comprend : une source d'énergie 16 ; une tête d'émission 14 qui génère un gaz plasma par application d'une tension entre une pluralité d'électrodes à l'aide de la source d'alimentation, et émet le gaz plasma d'une buse à la surface de la pièce à travailler W ; un dispositif de déplacement relatif 12 qui déplace la tête d'émission et la pièce à travailler l'une par rapport à l'autre ; et un dispositif de commande 18, le dispositif de commande étant configuré pour modifier des conditions de traitement sur la base de l'état de la machine de traitement au plasma pendant le traitement et/ou d'un effet de traitement. Ainsi, il devient possible d'obtenir une optimisation du moment de remplacement des composants de la tête d'émission en raison de l'usure, et de stabiliser l'effet de traitement.
(JA) 電源16と、その電源によって複数の電極の間に電圧が印加してプラズマ化ガスを発生させてそのプラズマ化ガスをノズル30からワークWの表面に照射するための照射ヘッド14と、その照射ヘッドとワークとを相対移動させる相対移動装置12と、制御装置18とを備え、照射するプラズマ化ガスによってワークWの表面に処理を行うプラズマ処理機において、制御装置を、処理中における当該プラズマ処理機のステータスと、処理の効果との少なくとも一方に基づいて、処理条件を変更するように構成する。消耗による照射ヘッドの構成部品の交換の時期の適切化、処理効果の安定化を図ることが可能となる。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)