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1. (WO2018235415) 物理量センサ
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国際公開番号: WO/2018/235415 国際出願番号: PCT/JP2018/015931
国際公開日: 27.12.2018 国際出願日: 18.04.2018
IPC:
G01L 1/14 (2006.01) ,G01L 9/00 (2006.01) ,H01L 29/84 (2006.01)
G 物理学
01
測定;試験
L
力,応力,トルク,仕事,機械的動力,機械的効率,または流体圧力の測定
1
力または応力の測定一般
14
電気的素子の容量またはインダクタンスの変化の測定によるもの,例.電気的発振器の周波数の変化を測定するもの
G 物理学
01
測定;試験
L
力,応力,トルク,仕事,機械的動力,機械的効率,または流体圧力の測定
9
電気的または磁気的感圧素子による流体または流動性固体の定常圧または準定常圧の測定;流体または流動性固体の定常圧または準定常圧の測定に用いられる機械的感圧素子の変位の電気的または磁気的手段による伝達または指示
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
29
整流,増幅,発振またはスイッチングに特に適用される半導体装置であり,少なくとも1つの電位障壁または表面障壁を有するもの;少なくとも1つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合空乏層またはキャリア集中層,を有するコンデンサーまたは抵抗器;半導体本体または電極の細部整流,増幅,発振またはスイッチングに特に適用される半導体装置であり,少なくとも1つの電位障壁または表面障壁を有するもの;少なくとも1つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合空乏層またはキャリア集中層,を有するコンデンサーまたは抵抗器;半導体本体または電極の細部(31/00~47/00,51/05が優先;半導体本体または電極以外の細部23/00;1つの共通基板内または上に形成された複数の固体構成部品からなる装置27/00
66
半導体装置の型
84
外からの機械的力,例.圧力,の変化によって制御可能なもの
出願人:
パナソニックIPマネジメント株式会社 PANASONIC INTELLECTUAL PROPERTY MANAGEMENT CO., LTD. [JP/JP]; 大阪府大阪市中央区城見2丁目1番61号 1-61, Shiromi 2-chome, Chuo-ku, Osaka-shi, Osaka 5406207, JP
発明者:
城石 久徳 SIROISI Hisanori; --
荻原 淳 OGIHARA Jun; --
牛山 直樹 USHIYAMA Naoki; --
代理人:
鎌田 健司 KAMATA Kenji; JP
前田 浩夫 MAEDA Hiroo; JP
優先権情報:
2017-12148721.06.2017JP
発明の名称: (EN) PHYSICAL QUANTITY SENSOR
(FR) CAPTEUR DE QUANTITÉ PHYSIQUE
(JA) 物理量センサ
要約:
(EN) This physical quantity sensor detects a physical quantity. The physical quantity sensor comprises: a first substrate; an electrode formed on the first substrate; a diaphragm formed of a semiconductor material; a second substrate fixed to the first substrate; a dielectric film formed on the diaphragm; and a wall positioned between the dielectric film and the electrode. The diaphragm deflects in accordance with the physical quantity. The second substrate supports the diaphragm such that the diaphragm has an opposing surface opposing the electrode across a space. The dielectric film is formed on the opposing surface of the diaphragm. The wall demarcates the space. The dielectric film has a surface opposing the electrode across the space. The wall includes a first protrusion and a second protrusion. The first protrusion protrudes towards the electrode from the surface of the dielectric film. The second protrusion protrudes towards the electrode from the first protrusion and contacts the electrode. The second protrusion is formed from a material different than the material of the dielectric film and is made of nitride.
(FR) La présente invention concerne un capteur de quantité physique qui détecte une quantité physique. Le capteur de quantité physique comprend : un premier substrat ; une électrode formée sur le premier substrat ; un diaphragme formé d’un matériau semi-conducteur ; un deuxième substrat fixé au premier substrat ; un film diélectrique formé sur le diaphragme ; et une paroi positionnée entre le film diélectrique et l’électrode. Le diaphragme est dévié en fonction de la quantité physique. Le deuxième substrat soutient le diaphragme de sorte que le diaphragme ait une surface opposée faisant face à l’électrode de part et d’autre d’un espace. Le film diélectrique est formé sur la surface opposée du diaphragme. La paroi délimite l’espace. Le film diélectrique a une surface opposée à l’électrode de part et d’autre de l’espace. La paroi comprend une première saillie et une deuxième saillie. La première saillie fait saillie vers l’électrode depuis la surface du film diélectrique. La deuxième saillie fait saillie vers l’électrode depuis la première saillie et vient en contact avec l’électrode. La deuxième saillie est formée d’un matériau différent du matériau du film diélectrique et est constituée de nitrure.
(JA) 物理量センサは物理量を検出する。この物理量センサは、第1基板と、第1基板に形成されている電極と、半導体材料により形成されたダイヤフラムと、第1基板に固定されている第2基板と、ダイヤフラムに形成されている誘電体膜と、誘電体膜と電極との間に位置する壁部とを備える。ダイヤフラムは上記物理量に応じて撓む。第2基板は、ダイヤフラムが電極に対して空間を介して対向する対向面を有するようにダイヤフラムを支持する。誘電体膜は、ダイヤフラムの対向面に形成されている。壁部は、上記空間を画定する。誘電体膜は空間を介して電極に対向する面を有する。壁部は第1突部と第2突部とを有する。第1突部は、誘電体膜の面から電極に向かって突出している。第2突部は、第1突部から電極に向かって突出し電極に接触している。第2突部は誘電体膜の材料と異なりかつ窒化物よりなる。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)