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1. (WO2018235376) 表面検査方法、表面検査装置および製品の製造方法
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国際公開番号: WO/2018/235376 国際出願番号: PCT/JP2018/012729
国際公開日: 27.12.2018 国際出願日: 28.03.2018
IPC:
G01N 21/952 (2006.01) ,G01N 21/892 (2006.01) ,G01B 11/30 (2006.01)
G 物理学
01
測定;試験
N
材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
21
光学的手段,すなわち.赤外線,可視光線または紫外線を使用することによる材料の調査または分析
84
特殊な応用に特に適合したシステム
88
きず,欠陥,または汚れの存在の調査
95
調査対象物の材質や形に特徴付けられるもの
952
円筒体またはワイヤの外表面の検査
G 物理学
01
測定;試験
N
材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
21
光学的手段,すなわち.赤外線,可視光線または紫外線を使用することによる材料の調査または分析
84
特殊な応用に特に適合したシステム
88
きず,欠陥,または汚れの存在の調査
89
動いている材料,例.紙・織物,の中の
892
調査されるきず,欠陥,または対象物の特質に特徴付けられるもの
G 物理学
01
測定;試験
B
長さ,厚さまたは同種の直線寸法の測定;角度の測定;面積の測定;表面または輪郭の不規則性の測定
11
光学的手段の使用によって特徴づけられた測定装置
30
表面の粗さまたは不規則性測定用
出願人:
日立オートモティブシステムズ株式会社 HITACHI AUTOMOTIVE SYSTEMS, LTD. [JP/JP]; 茨城県ひたちなか市高場2520番地 2520, Takaba, Hitachinaka-shi, Ibaraki 3128503, JP
発明者:
丸山 重信 MARUYAMA, Shigenobu; JP
宮田 一史 MIYATA, Kazushi; JP
代理人:
特許業務法人サンネクスト国際特許事務所 SUNNEXT INTERNATIONAL PATENT OFFICE; 東京都品川区東品川二丁目3番12号 シーフォ-トスクエア センタ-ビルディング16階 Seafort Square Center Building, 16F, 2-3-12, Higashishinagawa, Shinagawa-ku, Tokyo 1400002, JP
優先権情報:
2017-12086720.06.2017JP
発明の名称: (EN) SURFACE INSPECTION METHOD, SURFACE INSPECTION DEVICE, AND PRODUCT MANUFACTURING METHOD
(FR) PROCÉDÉ D'INSPECTION DE SURFACE, DISPOSITIF D'INSPECTION DE SURFACE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE PRODUIT
(JA) 表面検査方法、表面検査装置および製品の製造方法
要約:
(EN) In this surface inspection method, part of irradiation light having a prescribed width and prescribed thickness is irradiated onto a sample having a protruding surface, an optical image is formed through the projection onto a screen of reflected light that has been reflected from the protruding surface, the irradiation light other than said part of the irradiation light is made to pass through the protruding surface and is used as reference light, and the surface state of the sample is inspected on the basis of the reflected light intensity distribution of the optical image at an inspection location specified using the reference light.
(FR) L'invention concerne un procédé d'inspection de surface. Une partie de lumière de rayonnement présentant une largeur prescrite et une épaisseur prescrite est rayonnée sur un échantillon présentant une surface en saillie, une image optique est formée par l'intermédiaire de la projection sur un écran d'une lumière réfléchie ayant été réfléchie par la surface en saillie, la lumière de rayonnement autre que ladite partie de la lumière de rayonnement est amenée à passer à travers la surface en saillie et est utilisée en tant que lumière de référence, et l'état de surface de l'échantillon est inspecté en fonction de la distribution d'intensité de lumière réfléchie de l'image optique à un emplacement d'inspection spécifié à l'aide de la lumière de référence.
(JA) 表面検査方法は、凸状の表面を有する試料に、所定の幅および所定の厚さを有する照射光の一部を照射して、前記凸状の表面で反射した反射光をスクリーンに投射して光学像を形成し、前記照射光の一部を除く前記照射光を前記凸状の表面を通過させて基準光とし、前記基準光により特定される前記光学像の検査箇所の反射光強度分布に基づき前記試料の表面状態を検査する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)