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1. (WO2018230065) 光走査装置および光走査装置の調整方法
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国際公開番号: WO/2018/230065 国際出願番号: PCT/JP2018/010401
国際公開日: 20.12.2018 国際出願日: 16.03.2018
IPC:
G02B 26/10 (2006.01) ,B81B 3/00 (2006.01) ,G02B 26/08 (2006.01)
G 物理学
02
光学
B
光学要素,光学系,または光学装置
26
可動または変形可能な光学要素を用いて,光の強度,色,位相,偏光または方向を制御,例.スイッチング,ゲーティング,変調する光学装置または光学的配置
08
光の方向を制御するためのもの
10
走査系
B 処理操作;運輸
81
マイクロ構造技術
B
マイクロ構造装置またはシステム,例.マイクロマシン装置
3
可撓性の,または変形可能な要素,例.弾性のある舌片または薄膜,からなる装置
G 物理学
02
光学
B
光学要素,光学系,または光学装置
26
可動または変形可能な光学要素を用いて,光の強度,色,位相,偏光または方向を制御,例.スイッチング,ゲーティング,変調する光学装置または光学的配置
08
光の方向を制御するためのもの
出願人:
三菱電機株式会社 MITSUBISHI ELECTRIC CORPORATION [JP/JP]; 東京都千代田区丸の内二丁目7番3号 7-3, Marunouchi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008310, JP
発明者:
平田 善明 HIRATA, Yoshiaki; JP
紺野 伸顕 KONNO, Nobuaki; JP
伊藤 恭彦 ITO, Takahiko; JP
石田 晃三 ISHIDA, Kozo; JP
梶山 佳敬 KAJIYAMA, Yoshitaka; JP
代理人:
特許業務法人深見特許事務所 FUKAMI PATENT OFFICE, P.C.; 大阪府大阪市北区中之島三丁目2番4号 中之島フェスティバルタワー・ウエスト Nakanoshima Festival Tower West, 2-4, Nakanoshima 3-chome, Kita-ku, Osaka-shi, Osaka 5300005, JP
優先権情報:
2017-11581213.06.2017JP
発明の名称: (EN) OPTICAL SCANNING DEVICE AND METHOD FOR ADJUSTING OPTICAL SCANNING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE BALAYAGE OPTIQUE ET PROCÉDÉ D'AJUSTEMENT DE DISPOSITIF DE BALAYAGE OPTIQUE
(JA) 光走査装置および光走査装置の調整方法
要約:
(EN) An optical scanning device (10) is provided with: a mirror part (1) having a mirror surface (1B) for reflecting light; N support beams (2-1) to (2-4) that swingably support the mirror part (1); N drive beams (3-1) to (3-4); and a plurality of piezoelectric elements (5-i-a to d (i=1 to 4)) for driving that are fastened onto the N drive beams. The mirror part (1) performs precessional motion with the frequencies of alternating-current voltage to be applied to the plurality of piezoelectric elements (5-i-a, b, c, d) set to a designated common value, and the phases of alternating-current voltage to be applied to the plurality of piezoelectric elements (5-i-a, b, c, d) set to designated values corresponding to the positions of the respective piezoelectric elements.
(FR) Dispositif de balayage optique (10) pourvu : d'une partie miroir (1) ayant une surface de miroir (1B) pour réfléchir la lumière ; N faisceaux de support (2-1) à (2-4) qui supportent de manière oscillante la partie miroir (1) ; N faisceaux d'entraînement (3-1) à (3-4) ; et une pluralité d'éléments piézoélectriques (5-i-a à d (i = 1 à 4)) pour l'entraînement qui sont fixés sur les N faisceaux d'entraînement. La partie miroir (1) effectue un mouvement de précession avec les fréquences de tension alternative à appliquer à la pluralité d'éléments piézoélectriques (5-i-a, b, c, d) réglées sur une valeur commune désignée, et les phases de tension alternative à appliquer à la pluralité d'éléments piézoélectriques (5-i-a, b, c, d) réglées sur des valeurs désignées correspondant aux positions des éléments piézoélectriques respectifs.
(JA) 光走査装置(100)は、光を反射するミラー面(1B)を有するミラー部(1)と、ミラー部(1)を揺動可能に支持するN個の支持梁(2-1)~(2-4)と、N個の駆動梁(3-1)~(3-4)と、N個の駆動梁上に固着された駆動用の複数個の圧電素子(5-i-a~d(i=1~4))とを備える。複数個の圧電素子(5-i-a,b,c,d)の各々に与えられる交流電圧の周波数を決められた共通の値とし、複数個の圧電素子(5-i-a,b,c,d)の各々に与えられる交流電圧の位相を各圧電素子の位置に応じた決められた値とすることによって、ミラー部(1)が歳差運動する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)