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1. (WO2018229848) 荷電粒子線装置及び試料の厚さ測定法
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国際公開番号: WO/2018/229848 国際出願番号: PCT/JP2017/021737
国際公開日: 20.12.2018 国際出願日: 13.06.2017
IPC:
G01N 23/225 (2006.01) ,G01B 15/02 (2006.01)
G 物理学
01
測定;試験
N
材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
23
グループG01N21/00またはG01N22/00に包含されない波動性または粒子性放射線,例.X線,中性子線,の使用による材料の調査または分析
22
二次放射の測定によるもの
225
電子またはイオンマイクロプローブを用いるもの
G 物理学
01
測定;試験
B
長さ,厚さまたは同種の直線寸法の測定;角度の測定;面積の測定;表面または輪郭の不規則性の測定
15
波動性または粒子性放射線の使用によって特徴づけられた測定装置
02
厚み測定用
出願人:
株式会社日立ハイテクノロジーズ HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区西新橋一丁目24番14号 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717, JP
発明者:
佐藤 高広 SATO Takahiro; JP
野間口 恒典 NOMAGUCHI Tsunenori; JP
代理人:
特許業務法人平木国際特許事務所 HIRAKI & ASSOCIATES; 東京都港区愛宕二丁目5-1 愛宕グリーンヒルズMORIタワー32階 Atago Green Hills MORI Tower 32F, 5-1, Atago 2-chome, Minato-ku, Tokyo 1056232, JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE AND METHOD FOR MEASURING THICKNESS OF SAMPLE
(FR) DISPOSITIF À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES ET PROCÉDÉ DE MESURE DE L'ÉPAISSEUR D'UN ÉCHANTILLON
(JA) 荷電粒子線装置及び試料の厚さ測定法
要約:
(EN) This charged particle beam device is provided with: a storage unit that stores relationship information indicating a relationship between the intensity or the intensity ratio of a charged particle signal and the thickness of a layer disposed on a sample, wherein the charged particle signal is obtained when the layer is irradiated with a charged particle beam; and a computing unit that uses the relationship information and the intensity or the intensity ratio of the charged particle signal to calculate the thickness of the layer as the thickness of the sample.
(FR) L'invention concerne un dispositif à faisceau de particules chargées qui comporte : une unité de stockage qui stocke des informations de relation indiquant une relation entre l'intensité ou le rapport d'intensité d'un signal de particules chargées et l'épaisseur d'une couche disposée sur un échantillon, le signal de particules chargées étant obtenu lorsque la couche est irradiée avec un faisceau de particules chargées ; et une unité de calcul qui utilise les informations de relation et l'intensité ou le rapport d'intensité du signal de particules chargées pour calculer l'épaisseur de la couche en tant qu'épaisseur de l'échantillon.
(JA) 荷電粒子線装置は、試料上に配置された層に前記荷電粒子線が照射されたときに得られる荷電粒子信号の強度又は強度比と前記層の厚さとの関係を示す関係情報を記憶した記憶部と、前記関係情報と、前記荷電粒子信号の強度又は強度比とを用いて、前記層の厚さを前記試料の厚さとして算出する演算部とを備える。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)