このアプリケーションの一部のコンテンツは現時点では利用できません。
このような状況が続く場合は、にお問い合わせくださいフィードバック & お問い合わせ
1. (WO2018229838) 極端紫外光センサユニット及び極端紫外光生成装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

国際公開番号: WO/2018/229838 国際出願番号: PCT/JP2017/021678
国際公開日: 20.12.2018 国際出願日: 12.06.2017
IPC:
G03F 7/20 (2006.01) ,H05G 2/00 (2006.01)
G 物理学
03
写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
F
フォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造,例.印刷用,半導体装置の製造法用;そのための材料;そのための原稿;そのために特に適合した装置
7
フォトメカニカル法,例.フォトリソグラフ法,による凹凸化又はパターン化された表面,例.印刷表面,の製造;そのための材料,例.フォトレジストからなるもの;そのため特に適合した装置
20
露光;そのための装置
H 電気
05
他に分類されない電気技術
G
X線技術
2
X線の発生に特に適合した装置または処理で,X線管を含まないもの,例.プラズマの発生を含むもの
出願人:
ギガフォトン株式会社 GIGAPHOTON INC. [JP/JP]; 栃木県小山市大字横倉新田400番地 400, Oaza Yokokurashinden, Oyama-shi, Tochigi 3238558, JP
発明者:
宮下 光太郎 MIYASHITA, Kotaro; JP
代理人:
松浦 憲三 MATSUURA, Kenzo; JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT SENSOR UNIT AND EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT GENERATION DEVICE
(FR) UNITÉ CAPTEUR DE LUMIÈRE ULTRAVIOLETTE EXTRÊME ET DISPOSITIF DE GÉNÉRATION DE LUMIÈRE ULTRAVIOLETTE EXTRÊME
(JA) 極端紫外光センサユニット及び極端紫外光生成装置
要約:
(EN) The extreme ultraviolet light sensor unit relating to one aspect of the present disclosure is provided with: a mirror that reflects extreme ultraviolet light; a wavelength filter that selectively passes extreme ultraviolet light reflected by the mirror; a light sensor that detects extreme ultraviolet light passed through the wavelength filter; and a purge gas supply unit that is disposed so as to supply a purge gas between the wavelength filter and the light sensor.
(FR) L'unité de capteur de lumière ultraviolette extrême se rapportant à un aspect de la présente invention est pourvue : d'un miroir qui réfléchit une lumière ultraviolette extrême ; d'un filtre de longueur d'onde qui laisse passer sélectivement la lumière ultraviolette extrême réfléchie par le miroir ; d'un capteur de lumière qui détecte une lumière ultraviolette extrême qui est passée à travers le filtre de longueur d'onde ; et d'une unité d'alimentation en gaz de purge qui est disposée de façon à apporter un gaz de purge entre le filtre de longueur d'onde et le capteur de lumière.
(JA) 本開示の一観点に係る極端紫外光センサユニットは、極端紫外光を反射するミラーと、ミラーによって反射された極端紫外光を選択的に透過する波長フィルタと、波長フィルタを透過した極端紫外光を検出する光センサと、波長フィルタと光センサとの間にパージガスを供給するよう配置されたパージガス供給部と、を備える。
front page image
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)