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1. (WO2018227975) FILM THICKNESS MEASURING SYSTEM AND METHOD
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国際公開番号: WO/2018/227975 国際出願番号: PCT/CN2018/073617
国際公開日: 20.12.2018 国際出願日: 22.01.2018
IPC:
G01B 11/06 (2006.01)
G 物理学
01
測定;試験
B
長さ,厚さまたは同種の直線寸法の測定;角度の測定;面積の測定;表面または輪郭の不規則性の測定
11
光学的手段の使用によって特徴づけられた測定装置
02
長さ,幅または厚み測定用
06
厚み測定用
出願人:
深圳中科飞测科技有限公司 SKYVERSE LIMITED [CN/CN]; 中国广东省深圳市 龙华区大浪街道大浪工业园路1号凯豪达广场办公室A区1618室 Room 1618 Kaihaoda Plaza Block A, No.1 Dalang Industry Road, Longhua District Shenzhen, Guangdong 510380, CN
発明者:
陈鲁 CHEN, Lu; CN
代理人:
北京永新同创知识产权代理有限公司 NTD UNIVATION INTELLECTUAL PROPERTY AGENCY LTD.; 中国北京市 东城区北三环东路36号北京环球贸易中心C座10层 10th Floor, Tower C, Beijing Global Trade Center, 36 North Third Ring Road East Dongcheng District Beijing 100013, CN
優先権情報:
201710447669.914.06.2017CN
発明の名称: (EN) FILM THICKNESS MEASURING SYSTEM AND METHOD
(FR) SYSTÈME ET PROCÉDÉ DE MESURE D'ÉPAISSEUR DE FILM
(ZH) 膜厚测量系统及方法
要約:
(EN) A measuring system, comprising: a lens assembly (20), which is configured to receive a reflected light from a tested sample (10) and divide the reflected light into at least a first reflected light and a second reflected light; an imaging unit (21), which is configured to receive the first reflected light so as to acquire imaging data of a surface of the tested sample (10), the imaging data comprising distribution information of tested holes in at least one detection area of the tested sample (10); a film thickness measuring unit (22), which is configured to receive the second reflected light so as to acquire hole bottom film thickness data of a tested hole; and a processing unit (23), which is in communication connection with the imaging unit (21) and the film thickness measuring unit (22) and which is configured to determine a detection path of the tested holes on the basis of the distribution information such that the film thickness measuring unit (22) obtains hole bottom film thickness data for each tested hole on the basis of the detection path of the holes, thereby measuring the tested holes in the at least one detection area.
(FR) Un système de mesure, comprenant : un ensemble lentille (20), qui est configuré pour recevoir une lumière réfléchie à partir d'un échantillon testé (10) et diviser la lumière réfléchie en au moins une première lumière réfléchie et une seconde lumière réfléchie; une unité d'imagerie (21), qui est configurée pour recevoir la première lumière réfléchie de façon à acquérir des données d'imagerie d'une surface de l'échantillon testé (10), les données d'imagerie comprenant des informations de distribution de trous testés dans au moins une zone de détection de l'échantillon testé (10); une unité de mesure d'épaisseur de film (22), qui est configurée pour recevoir la seconde lumière réfléchie de façon à acquérir des données d'épaisseur de film inférieur de trou d'un trou testé; et une unité de traitement (23), qui est en liaison de communication avec l'unité d'imagerie (21) et l'unité de mesure d'épaisseur de film (22) et qui est configurée pour déterminer un trajet de détection des trous testés sur la base des informations de distribution de telle sorte que l'unité de mesure d'épaisseur de film (22) obtient des données d'épaisseur de film de fond de trou pour chaque trou testé sur la base du trajet de détection des trous, ce qui permet de mesurer les trous testés dans au moins une zone de détection.
(ZH) 一种测量系统,包括:透镜组件(20),其被配置为接收来自被测样品(10)的反射光,并将反射光至少分为第一反射光和第二反射光;成像单元(21),其被配置为接收第一反射光,以获取被测样品(10)表面的成像数据,成像数据包括被测孔在被测样品(10)的至少一个检测区域中的分布信息;膜厚测量单元(22),其被配置为接收第二反射光,以获取被测孔的孔底膜厚的数据;以及处理单元(23),其与成像单元(21)、膜厚测量单元(22)通信连接,并且被配置为基于分布信息来确定被测孔的检测路径,并基于孔的检测路径来使得膜厚测量单元(22)获得每个被测孔的孔底膜厚的数据,进而实现对至少一个检测区域中的被测孔的测量。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 中国語 (ZH)
国際出願言語: 中国語 (ZH)