このアプリケーションの一部のコンテンツは現時点では利用できません。
このような状況が続く場合は、にお問い合わせくださいフィードバック & お問い合わせ
1. (WO2018221636) 傾斜角度量算出装置、試料台、荷電粒子線装置およびプログラム
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

国際公開番号: WO/2018/221636 国際出願番号: PCT/JP2018/020901
国際公開日: 06.12.2018 国際出願日: 31.05.2018
IPC:
H01J 37/20 (2006.01) ,G01N 23/2055 (2018.01) ,H01J 37/22 (2006.01) ,H01J 37/244 (2006.01) ,H01J 37/26 (2006.01) ,H01J 37/28 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
37
放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02
細部
20
物体または材料を支持しまたは位置づける手段;支持体に関連した隔膜壁またはレンズを調節する手段
[IPC code unknown for G01N 23/2055]
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
37
放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02
細部
22
管と関連した光学または写真装置
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
37
放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02
細部
244
検出器;関連の構成要素またはそのための回路
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
37
放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
26
電子またはイオン顕微鏡;電子またはイオン回折管
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
37
放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
26
電子またはイオン顕微鏡;電子またはイオン回折管
28
走査ビームを有するもの
出願人:
新日鐵住金株式会社 NIPPON STEEL & SUMITOMO METAL CORPORATION [JP/JP]; 東京都千代田区丸の内二丁目6番1号 6-1, Marunouchi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008071, JP
発明者:
森 孝茂 MORI, Takashige; JP
網野 岳文 AMINO, Takafumi; JP
丸山 直紀 MARUYAMA, Naoki; JP
谷山 明 TANIYAMA, Akira; JP
谷口 俊介 TANIGUCHI, Shunsuke; JP
横山 千恵 YOKOYAMA, Chie; JP
代理人:
特許業務法人ブライタス BRIGHTAS IP ATTORNEYS; 大阪府大阪市北区曽根崎2丁目5番10号 2-5-10, Sonezaki, Kita-ku, Osaka-shi, Osaka 5300057, JP
優先権情報:
2017-10774731.05.2017JP
2017-12046720.06.2017JP
2018-07154103.04.2018JP
2018-08453425.04.2018JP
2018-08582326.04.2018JP
発明の名称: (EN) INCLINATION ANGLE AMOUNT CALCULATION DEVICE, SAMPLE STAND, CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE, AND PROGRAM
(FR) DISPOSITIF DE CALCUL DE VALEUR D'ANGLE D'INCLINAISON, SUPPORT D'ÉCHANTILLON, DISPOSITIF À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES, ET PROGRAMME
(JA) 傾斜角度量算出装置、試料台、荷電粒子線装置およびプログラム
要約:
(EN) The present invention provides an inclination angle amount calculation device used in a charged particle beam device in which a charged particle beam is impinged on the surface of a sample mounted on a sample stand, the inclination angle amount calculation device calculating an inclination angle amount which is a command value for controlling the inclination direction and the inclination amount of the sample and/or the charged particle beam and which is necessary for changing the impingement direction of the charged particle beam with respect to the sample, the inclination angle amount calculation device comprising an inclination angle amount calculation unit for calculating the inclination angle amount on the basis of information indicating the impingement direction of the charged particle beam with respect to a crystal specified on a crystal orientation diagram which is a diagram expressing the impingement direction of the charged particle beam with respect to a crystal coordinate system of the crystal of a selected position of the surface, in a state in which the impingement direction of the charged particle beam with respect to the sample is a prescribed impingement direction.
(FR) La présente invention concerne un dispositif de calcul de valeur d'angle d'inclinaison utilisé dans un dispositif à faisceau de particules chargées dans lequel un faisceau de particules chargées est projeté sur la surface d'un échantillon monté sur un support d'échantillon, le dispositif de calcul de valeur d'angle d'inclinaison calculant une valeur d'angle d'inclinaison qui est une valeur de commande destinée à commander la direction d'inclinaison et la valeur d'inclinaison de l'échantillon et/ou du faisceau de particules chargées et qui est nécessaire pour changer la direction d'impact du faisceau de particules chargées par rapport à l'échantillon, le dispositif de calcul de valeur d'angle d'inclinaison comprenant une unité de calcul de valeur d'angle d'inclinaison permettant de calculer la valeur d'angle d'inclinaison sur la base d'informations indiquant la direction d'impact du faisceau de particules chargées par rapport à un cristal spécifié sur un diagramme d'orientation de cristal qui est un diagramme exprimant la direction d'impact du faisceau de particules chargées par rapport à un système de coordonnées de cristal du cristal d'une position sélectionnée de la surface, dans un état dans lequel la direction d'impact du faisceau de particules chargées par rapport à l'échantillon est une direction d'impact prescrite.
(JA) 試料台の上の載置された試料の表面に荷電粒子線を入射させる荷電粒子線装置に用いられ、試料に対する荷電粒子線の入射方向の変更に必要となる試料および/または荷電粒子線の、傾斜方向および傾斜量を制御するための指令値である傾斜角度量を算出する装置であって、試料に対する荷電粒子線の入射方向が所定の入射方向である状態における、表面の選択された位置の結晶の結晶座標系に対する荷電粒子線の入射方向を表す図である結晶方位図上で指定された、荷電粒子線の結晶に対する入射方向を示す情報に基づいて、傾斜角度量を算出する傾斜角度量算出部を備える、傾斜角度量算出装置。
front page image
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)