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1. (WO2018221412) 基板収納容器

Pub. No.:    WO/2018/221412    International Application No.:    PCT/JP2018/020167
Publication Date: Fri Dec 07 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Sat May 26 01:59:59 CEST 2018
IPC: H01L 21/673
B65D 85/30
F16J 15/10
Applicants: SHIN-ETSU POLYMER CO.,LTD.
信越ポリマー株式会社
Inventors: OGAWA Osamu
小川 統
Title: 基板収納容器
Abstract:
本発明は、基板を収納する容器本体(10)と蓋体(20)との間に設けられる環状のパッキン(30)を備える基板収納容器(1)であって、容器本体(10)は、パッキン(30)が接触するシール面(12)が形成され、蓋体(20)は、パッキン(30)を取り付ける取付溝(21)が形成され、パッキン(30)は、取付溝(21)に嵌められる本体部(31)と、本体部(31)から延出された延出片(32)と、で形成されており、延出片(32)は、蓋体(20)の閉止方向(H)において蓋体(20)側に突出する突起部(320)と、突起部(320)よりも先端に位置するシール部(321)と、を有し、シール部(321)は、シール面(12)側かつ本体部(31)側に反転して、シール面(12)に接触するものである。これにより、内部の陽圧に対するシール性を向上させた基板収納容器を提供することができる。