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1. (WO2018221357) セリア系複合微粒子分散液、その製造方法及びセリア系複合微粒子分散液を含む研磨用砥粒分散液
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国際公開番号: WO/2018/221357 国際出願番号: PCT/JP2018/019902
国際公開日: 06.12.2018 国際出願日: 23.05.2018
IPC:
C01B 33/12 (2006.01) ,B24B 37/00 (2012.01) ,C01F 17/00 (2006.01) ,C09G 1/02 (2006.01) ,C09K 3/14 (2006.01) ,H01L 21/304 (2006.01)
[IPC code unknown for C01B 33/12][IPC code unknown for B24B 37][IPC code unknown for C01F 17][IPC code unknown for C09G 1/02][IPC code unknown for C09K 3/14][IPC code unknown for H01L 21/304]
出願人:
日揮触媒化成株式会社 JGC CATALYSTS AND CHEMICALS LTD. [JP/JP]; 神奈川県川崎市幸区堀川町580番地 580, Horikawa-cho, Saiwai-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa 2120013, JP
発明者:
小松 通郎 KOMATSU, Michio; JP
西田 広泰 NISHIDA, Hiroyasu; JP
俵迫 祐二 TAWARAZAKO, Yuji; JP
碓田 真也 USUDA, Shinya; JP
中山 和洋 NAKAYAMA, Kazuhiro; JP
代理人:
右田 俊介 MIGITA, Shunsuke; JP
高橋 政治 TAKAHASHI, Masaharu; JP
優先権情報:
2017-10908701.06.2017JP
2017-11899316.06.2017JP
発明の名称: (EN) CERIA-BASED COMPOSITE FINE PARTICLE DISPERSION, PRODUCTION METHOD THEREFOR, AND POLISHING ABRASIVE GRAIN DISPERSION INCLUDING CERIA-BASED COMPOSITE FINE PARTICLE DISPERSION
(FR) DISPERSION DE PARTICULES FINES COMPOSITES À BASE D'OXYDE DE CÉRIUM, SON PROCÉDÉ DE PRODUCTION, ET DISPERSION DE GRAINS ABRASIFS DE POLISSAGE COMPRENANT UNE DISPERSION DE PARTICULES FINES COMPOSITES À BASE D'OXYDE DE CÉRIUM
(JA) セリア系複合微粒子分散液、その製造方法及びセリア系複合微粒子分散液を含む研磨用砥粒分散液
要約:
(EN) The present invention addresses the problem of providing a ceria-based composite particle dispersion which is capable of performing polishing at high speed, even for silica films, Si wafers, and difficult to process materials, and which is simultaneously capable of achieving high surface accuracy. The present invention solves the abovementioned problem by providing a ceria-based composite fine particle dispersion which includes ceria-based composite fine particles which have an average particle size of 50-350 nm, and which have the following characteristics. The ceria-based composite fine particles are each provided with: a mother particle; a cerium-containing silica layer; child particles; and a layer including readily soluble silica. The mother particle has amorphous silica as a main component. The child particles have crystalline ceria as a main component. The ratio of the mass of the layer including the readily soluble silica to the mass of the ceria-based composite fine particles is in a specific range. The mass ratio of silica to ceria in the ceria-based composite fine particles is in a specific range. When the ceria-based composite fine particles are subjected to X-ray diffraction, only the crystal phase of the ceria is detected. The average crystallite size of the crystalline ceria measured by subjecting the ceria-based composite fine particles to X-ray diffraction is 10-25 nm.
(FR) La présente invention aborde le problème consistant à fournir une dispersion de particules composites à base d'oxyde de cérium qui est apte à réaliser un polissage à grande vitesse, même pour des films de silice, des tranches de Si et des matériaux difficiles à traiter, et qui est simultanément apte à obtenir une précision de surface élevée. La présente invention résout le problème précité en fournissant une dispersion de particules fines composites à base d'oxyde de cérium qui comprend des particules fines composites à base d'oxyde de cérium qui ont une taille moyenne de particule de 50 à 350 nm, et qui ont les caractéristiques suivantes. Les particules fines composites à base d'oxyde de cérium comprennent chacune : une particule mère ; une couche de silice contenant du cérium ; des particules enfants ; et une couche comprenant de la silice facilement soluble. La particule mère comprend de la silice amorphe en tant que constituant principal. Les particules enfants comprennent de l'oxyde de cérium cristallin en tant que constituant principal. Le rapport de la masse de la couche comprenant la silice facilement soluble à la masse des particules fines composites à base d'oxyde de cérium se situe dans une plage spécifique. Le rapport en masse de la silice à l'oxyde de cérium dans les particules fines composites à base d'oxyde de cérium se situe dans une plage spécifique. Lorsque les particules fines composites à base d'oxyde de cérium sont soumises à une diffraction par rayons X, seule la phase cristalline de l'oxyde de cérium est détectée. La taille moyenne des cristallites de l'oxyde de cérium cristallin mesurée en soumettant les particules fines composites à base d'oxyde de cérium à une diffraction par rayons X est de 10 à 25 nm.
(JA) シリカ膜、Siウェハや難加工材であっても高速で研磨することができ、同時に高面精度を達成することができるセリア系複合粒子分散液の提供を課題とする。下記の特徴を備える平均粒子径50~350nmのセリア系複合微粒子を含む、セリア系複合微粒子分散液によって上記課題を解決する。セリア系複合微粒子は、母粒子とセリウム含有シリカ層と子粒子と易溶解性のシリカを含む層とを有し、母粒子は非晶質シリカを主成分とし、子粒子は結晶性セリアを主成分とすること。セリア系複合微粒子の質量に対する易溶解性のシリカを含む層の質量の割合が特定範囲であること。セリア系複合微粒子はシリカとセリアとの質量比が特定範囲であること。セリア系複合微粒子はX線回折に供するとセリアの結晶相のみが検出されること。セリア系複合微粒子はX線回折に供して測定される結晶性セリアの平均結晶子径が10~25nmであること。
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アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)