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1. (WO2018221345) 真空ポンプとその加熱装置

Pub. No.:    WO/2018/221345    International Application No.:    PCT/JP2018/019824
Publication Date: Fri Dec 07 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Thu May 24 01:59:59 CEST 2018
IPC: F04D 19/04
Applicants: EDWARDS JAPAN LIMITED
エドワーズ株式会社
Inventors: OHTACHI Yoshinobu
大立 好伸
MAEJIMA Yasushi
前島 靖
TAKAADA Tsutomu
高阿田 勉
Title: 真空ポンプとその加熱装置
Abstract:
真空ポンプにおける生成物堆積防止対策として用いられる加熱手段の延命化を図るのに好適な真空ポンプとその加熱装置を提供する。回転体の回転によりガスを排気する真空ポンプは、ガスを排気するための排気流路と、排気流路を加熱する加熱手段(HM)と、を有し、加熱手段(HM)は、一対の配線ライン(WL1)、(WL2)に対して複数の抵抗発熱体(RE)を並列に接続して構成されている。また、加熱手段(HM)は、複数の抵抗発熱体(RE)に流れる電流値の総和を測定する電流測定手段(101)と、電流測定手段(101)での測定値に基づき複数の抵抗発熱体(RE)の故障具合を判別する判別手段(102)や、判別手段(102)で判別した故障具合を出力する出力手段(103)を備えている。