国際・国内特許データベース検索

1. (WO2018221304) ナノバブル含有無機酸化物微粒子およびそれを含む研磨剤

Pub. No.:    WO/2018/221304    International Application No.:    PCT/JP2018/019548
Publication Date: Fri Dec 07 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Tue May 22 01:59:59 CEST 2018
IPC: C09K 3/14
B24B 37/00
H01L 21/304
Applicants: JGC CATALYSTS AND CHEMICALS LTD.
日揮触媒化成株式会社
Inventors: KOMATSU, Michio
小松 通郎
NISHIDA, Hiroyasu
西田 広泰
NAKAYAMA, Kazuhiro
中山 和洋
Title: ナノバブル含有無機酸化物微粒子およびそれを含む研磨剤
Abstract:
研磨剤として用いる工程において濃縮安定性に優れるナノバブル含有無機酸化物微粒子分散液の提供を課題とする。上記課題を、平均粒子径が1~500nmであり、Ceを含む微粒子を含む無機酸化物微粒子と、平均気泡径が50~500nmであり、N2およびH2からなる群から選ばれる少なくとも1つである非酸化性ガスであるナノバブルと、を含むナノバブル含有無機酸化物微粒子分散液によって解決する。