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1. (WO2018221248) プラズマ処理装置、及び、表面処理フィルムの製造方法
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国際公開番号: WO/2018/221248 国際出願番号: PCT/JP2018/019129
国際公開日: 06.12.2018 国際出願日: 17.05.2018
IPC:
H05H 1/24 (2006.01)
H 電気
05
他に分類されない電気技術
H
プラズマ技術;加速された荷電粒子のまたは中性子の発生;中性分子または原子ビームの発生または加速
1
プラズマの生成;プラズマの取扱い
24
プラズマの発生
出願人:
日本ゼオン株式会社 ZEON CORPORATION [JP/JP]; 東京都千代田区丸の内一丁目6番2号 6-2, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008246, JP
発明者:
平野 祐哉 HIRANO, Masaya; JP
代理人:
特許業務法人酒井国際特許事務所 SAKAI INTERNATIONAL PATENT OFFICE; 東京都千代田区霞が関3丁目8番1号 虎の門三井ビルディング Toranomon Mitsui Building, 8-1, Kasumigaseki 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000013, JP
優先権情報:
2017-10791131.05.2017JP
発明の名称: (EN) PLASMA TREATMENT DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING SURFACE TREATED FILM
(FR) DISPOSITIF DE TRAITEMENT PAR PLASMA ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN FILM TRAITÉ EN SURFACE
(JA) プラズマ処理装置、及び、表面処理フィルムの製造方法
要約:
(EN) Provided is a plasma treatment device comprising: a plasma treatment unit capable of subjecting a film to a plasma treatment; and an inversion unit capable of inverting a film that has been delivered from the plasma treatment unit and returning the film to the plasma treatment unit. The plasma treatment unit is comprises: a cooling roller having a peripheral surface that can be contacted by the film delivered to the inversion unit and the film returned from the inversion unit, said cooling roller being provided such that the temperature can be adjusted; and a plurality of electrodes provided facing the peripheral surface of the cooling roller. The plurality of electrodes include a first electrode and a second electrode. The first electrode is provided so that the film being delivered to the inversion unit is conveyed so as to pass between the first electrode and the cooling roller while the film contacts the peripheral surface of the cooling roller, and the second electrode is provided so that the film returned from the inversion unit is conveyed so as to pass between the second electrode and the cooling roller while the film contacts the peripheral surface of the cooling roller.
(FR) L'invention concerne un dispositif de traitement par plasma comprenant : une unité de traitement paru plasma capable de soumettre un film à un traitement par plasma ; et une unité d'inversion capable d'inverser un film qui a été délivré à partir de l'unité de traitement paru plasma et de renvoyer le film à l'unité de traitement par plasma. L'unité de traitement par plasma comprend : un rouleau de refroidissement ayant une surface périphérique qui peut être mise en contact par le film délivré à l'unité d'inversion et le film renvoyé par l'unité d'inversion, ledit rouleau de refroidissement étant fourni de telle sorte que la température puisse être réglée ; et une pluralité d'électrodes disposées en face de la surface périphérique du rouleau de refroidissement. La pluralité d'électrodes comprend une première électrode et une seconde électrode. La première électrode est disposée de telle sorte que le film qui est délivré à l'unité d'inversion soit transporté de manière à passer entre la première électrode et le rouleau de refroidissement tandis que le film entre en contact avec la surface périphérique du rouleau de refroidissement, et la seconde électrode est disposée de telle sorte que le film renvoyé par l'unité d'inversion soit transporté de manière à passer entre la seconde électrode et le rouleau de refroidissement tandis que le film entre en contact avec la surface périphérique du rouleau de refroidissement.
(JA) フィルムにプラズマ処理を施すことが可能なプラズマ処理部と、プラズマ処理部から送出されたフィルムを裏返してプラズマ処理部に戻すことが可能な反転部と、を備え;プラズマ処理部が、反転部へと送出されるフィルム及び反転部から戻されたフィルムが接触可能な周面を有し且つ温度調整可能に設けられた冷却ロールと、冷却ロールの周面に対向して設けられた複数の電極と、を備え;複数の電極が、第一電極及び第二電極を含み;第一電極が、反転部へと送出されるフィルムが冷却ロールの周面に接触した状態で第一電極と冷却ロールとの間を通って搬送されるように設けられ;第二電極が、反転部から戻されたフィルムが冷却ロールの周面に接触した状態で第二電極と冷却ロールとの間を通って搬送されるように設けられている、プラズマ処理装置。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)