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1. (WO2018221234) 電気的接続装置

Pub. No.:    WO/2018/221234    International Application No.:    PCT/JP2018/019034
Publication Date: Fri Dec 07 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Fri May 18 01:59:59 CEST 2018
IPC: G01R 1/073
H01L 21/66
Applicants: KABUSHIKI KAISHA NIHON MICRONICS
株式会社日本マイクロニクス
Inventors: ITO Tatsuya
伊藤 達哉
Title: 電気的接続装置
Abstract:
配線配置部材(30)と、配線配置部材(30)に形成された配線パターンと接続する基端部、及び被検査体(2)と接触する先端部を有するプローブ(10)と、配線配置部材(30)と隣接して配置され、プローブ(10)を保持するプローブヘッド(20)と、プローブヘッド(20)から配線配置部材(30)に向けて一端部が突出するようにプローブヘッド(20)に配置され、一端部が配線配置部材(30)のプローブヘッド(20)に対向する固定面(301)に固定されてプローブヘッド(20)と配線配置部材(30)を結合する固定部品(100)とを備える。