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1. (WO2018221067) 排ガスの減圧除害方法及びその装置

Pub. No.:    WO/2018/221067    International Application No.:    PCT/JP2018/016293
Publication Date: Fri Dec 07 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Sat Apr 21 01:59:59 CEST 2018
IPC: B01D 53/74
B01D 53/46
H01L 21/31
H05H 1/30
H05H 1/32
Applicants: KANKEN TECHNO CO., LTD.
カンケンテクノ株式会社
BEIJING KANKEN ENVIRONMENTAL PROTECTION EQUIPMENT CO., LTD.
北京康肯▲環▼保▲設▼▲備▼有限公司
Inventors: YANAGISAWA Michihiko
柳澤 道彦
TSUKADA Tsutomu
塚田 勉
IMAMURA Hiroshi
今村 啓志
Title: 排ガスの減圧除害方法及びその装置
Abstract:
本発明は、希釈用の窒素ガスの使用を極小化でき、エネルギーの利用効率に優れた排ガスの除害方法とその装置とを提供する。すなわち、本発明は、真空ポンプを介して発生源より供給される排ガスを、減圧状態に保ち高温プラズマの熱で分解処理することを特徴とする排ガスの減圧除害方法及びその装置である。