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1. (WO2018221006) 表面欠陥検査装置および該方法

Pub. No.:    WO/2018/221006    International Application No.:    PCT/JP2018/014684
Publication Date: Fri Dec 07 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Sat Apr 07 01:59:59 CEST 2018
IPC: G01N 21/88
G01B 11/30
G06T 7/00
Applicants: KONICA MINOLTA, INC.
コニカミノルタ株式会社
Inventors: HARADA, Koji
原田 孝仁
KASHIHARA, Masato
柏原 将人
WAKIMURA, Taizo
脇村 泰三
Title: 表面欠陥検査装置および該方法
Abstract:
本発明の表面欠陥検査装置および表面欠陥検査方法は、被検査物の被検査面に照明光を照射して前記被検査面を撮像した画像に基づいて前記被検査面の欠陥を検出する装置および方法であって、明領域と暗領域との組を少なくとも1つ形成して前記照明光を照射し、前記被検査面の欠陥を検出する際に、予め定義されたゆず肌の視認性の程度に応じて、前記明領域の照明光で照射された前記被検査面を写し込んだ画像に設定される、欠陥を検出するための欠陥検出画像領域の範囲を調整する。