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1. (WO2018221005) 表面欠陥検査装置および該方法

Pub. No.:    WO/2018/221005    International Application No.:    PCT/JP2018/014682
Publication Date: Fri Dec 07 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Sat Apr 07 01:59:59 CEST 2018
IPC: G01N 21/88
G01N 21/84
Applicants: KONICA MINOLTA, INC.
コニカミノルタ株式会社
Inventors: HARADA, Koji
原田 孝仁
KASHIHARA, Masato
柏原 将人
WAKIMURA, Taizo
脇村 泰三
Title: 表面欠陥検査装置および該方法
Abstract:
本発明の表面欠陥検査装置および表面欠陥検査方法は、被検査物の被検査面に照明光を照射して前記被検査面を撮像した画像に基づいて前記被検査面の欠陥を検出する装置および方法であって、明領域と暗領域との組を少なくとも1つ形成して前記照明光を照射し、予め定義された欠陥の視認性の程度に応じて前記明領域の幅に調整する。