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1. (WO2018220953) 透明導電膜

Pub. No.:    WO/2018/220953    International Application No.:    PCT/JP2018/010867
Publication Date: Fri Dec 07 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Tue Mar 20 00:59:59 CET 2018
IPC: H01B 5/14
C01G 35/00
C23C 14/08
C23C 14/34
Applicants: ULVAC, INC.
株式会社アルバック
Inventors: SUDA, Tomokazu
須田 具和
TAKAHASHI, Hirohisa
高橋 明久
Title: 透明導電膜
Abstract:
【課題】透明性及び導電性に優れ、さらに高い硬度を有する透明導電膜を提供する。 【解決手段】本発明の一形態に係る透明導電膜は、下地上に成膜された透明導電膜である。上記透明導電膜は、酸化スズと、1.5wt%以上2.5wt%以下の酸化タンタルと、0.3wt%以上0.7wt%以下の酸化ニオブとを含む。このような透明導電膜は、酸化スズと、1.5wt%以上2.5wt%以下の酸化タンタルと、0.3wt%以上0.7wt%以下の酸化ニオブとを含むので、高い硬度を有し、さらに透明性及び導電性に優れたものになる。