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1. (WO2018220907) 成膜装置及び成膜方法

Pub. No.:    WO/2018/220907    International Application No.:    PCT/JP2018/005743
Publication Date: Fri Dec 07 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Tue Feb 20 00:59:59 CET 2018
IPC: C23C 14/34
H01B 13/00
Applicants: ULVAC, INC.
株式会社アルバック
Inventors: SUDA, Tomokazu
須田 具和
TAKAHASHI, Hirohisa
高橋 明久
ORII, Yuichi
織井 雄一
HAKOMORI, Muneto
箱守 宗人
Title: 成膜装置及び成膜方法
Abstract:
【課題】水蒸気分圧を安定させ、透明導電膜の膜質をより安定させる。 【解決手段】成膜装置は、第1真空室と、ガス供給源と、成膜源と、制御装置とを具備する。上記第1真空室においては、減圧状態が維持され、基板を保持するキャリアの搬入出が可能になっている。上記ガス供給源は、上記第1真空室に、水蒸気ガスを供給することができる。上記成膜源は、上記第1真空室に配置され、上記基板に形成される透明導電膜の材料を発生させることができる。上記制御装置は、上記透明導電膜が上記基板に形成される際に、上記第1真空室の水蒸気分圧を第1分圧以上で上記第1分圧よりも高い第2分圧以下の範囲に制御する。