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1. (WO2018220896) サイクロン捕集器
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国際公開番号: WO/2018/220896 国際出願番号: PCT/JP2018/002617
国際公開日: 06.12.2018 国際出願日: 29.01.2018
IPC:
B04C 5/04 (2006.01) ,B01D 47/00 (2006.01) ,B04C 11/00 (2006.01) ,G01N 1/02 (2006.01)
B 処理操作;運輸
04
物理的または化学的工程を行なうための遠心装置または機械
C
自由過流を利用する装置,例.サイクロン
5
渦巻の軸方向が逆方向の装置
02
渦流を起こす吸入口の構造
04
接線方向吸入口
B 処理操作;運輸
01
物理的または化学的方法または装置一般
D
分離
47
分離剤として液体を用いる,ガス,空気あるいは蒸気からの分散粒子の分離
B 処理操作;運輸
04
物理的または化学的工程を行なうための遠心装置または機械
C
自由過流を利用する装置,例.サイクロン
11
付属品,例.他に分類されない安全または制御装置
G 物理学
01
測定;試験
N
材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
1
サンプリング;調査用標本の調製
02
試料取出しのための装置
出願人:
東京エレクトロン株式会社 TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 東京都港区赤坂五丁目3番1号 3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325, JP
発明者:
田村 明威 TAMURA Akitake; JP
代理人:
永井 浩之 NAGAI Hiroshi; JP
中村 行孝 NAKAMURA Yukitaka; JP
佐藤 泰和 SATO Yasukazu; JP
朝倉 悟 ASAKURA Satoru; JP
森 秀行 MORI Hideyuki; JP
優先権情報:
2017-10877031.05.2017JP
発明の名称: (EN) CYCLONE COLLECTOR
(FR) COLLECTEUR À CYCLONE
(JA) サイクロン捕集器
要約:
(EN) [Problem] To allow particles in an intake gas to be reliably collected and to prevent the discharge of water mist. [Solution] This cyclone collector 12 is provided with: a container 21; a liquid film forming part 23 that forms a liquid film 40 inside the container 21; a gas intake hole 33 provided on a lid part 32; and a discharge pipe 24b. The gas intake hole 33 extends downward with respect to an orthogonal plane 21B that is orthogonal to an axis 21A of the container 21, and an opening 33a of the gas intake hole 33 opens to a region other than the liquid film 40. The intake gas from the gas intake hole 33 jets out toward the liquid film 40.
(FR) Le problème abordé par la présente invention est de permettre de recueillir de manière fiable des particules dans un gaz d'admission et d'empêcher le refoulement de brume d'eau. La solution selon l'invention concerne un collecteur à cyclone (12) qui comprend : un réceptacle (21), une partie de formation de film liquide (23) qui forme un film liquide (40) à l'intérieur du réceptacle (21) ; un trou d'admission de gaz (33) disposé sur une partie couvercle (32) ; et un tuyau de refoulement (24b). Le trou d'admission de gaz (33) s'étend vers le bas par rapport à un plan orthogonal (21B) qui est orthogonal à un axe (21A) du réceptable (21), et une ouverture (33a) du trou d'admission de gaz (33) s'ouvre sur une région autre que le film liquide (40). Le gaz d'admission provenant du trou d'admission de gaz (33) s'éjecte vers l'extérieur en direction du film liquide (40).
(JA) 【課題】吸気気体中の粒子を確実に捕集することができ、かつ水分ミストの放出を防止する。 【解決手段】サイクロン捕集器12は容器21と、容器21内に液膜40を形成する液膜形成部23と、蓋部32に設けられた吸気孔33と、排気管24bとを備える。吸気孔33は容器21の軸線21Aに直交する直交面21Bに対して下方に向かって延び、吸気孔33の開口部33aは液膜40以外の領域に開口する。吸気孔33からの吸気気体は、液膜40に向かって噴出する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)