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1. (WO2018220809) 荷電粒子線装置
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国際公開番号: WO/2018/220809 国際出願番号: PCT/JP2017/020555
国際公開日: 06.12.2018 国際出願日: 02.06.2017
IPC:
H01J 37/244 (2006.01) ,H01J 37/09 (2006.01)
[IPC code unknown for H01J 37/244][IPC code unknown for H01J 37/09]
出願人:
株式会社日立ハイテクノロジーズ HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区西新橋一丁目24番14号 24-14, Nishi-Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717, JP
発明者:
野間口 恒典 NOMAGUCHI Tsunenori; JP
本村 俊一 MOTOMURA Shunichi; JP
西中 健一 NISHINAKA Kenichi; JP
揚村 寿英 AGEMURA Toshihide; JP
代理人:
ポレール特許業務法人 POLAIRE I.P.C.; 東京都中央区日本橋茅場町二丁目13番11号 13-11, Nihonbashikayabacho 2-chome, Chuo-ku, Tokyo 1030025, JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE
(FR) DISPOSITIF À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES
(JA) 荷電粒子線装置
要約:
(EN) The present invention makes it possible to detect high-energy signal electrons that pass through the vicinity of an optical axis, e.g., backscattered electrons (BSE) or secondary electrons (SE) in a booster optical system. For this purpose, provided is a charged particle beam device having a charged particle beam source 101 for generating a charged particle beam, an objective lens 105 for focusing the charged particle beam onto a sample, and a charged particle detection element 108 that is disposed between the charged particle beam source 101 and the objective lens 105 and detects charged particles produced due to the interaction between the charged particle beam and the sample, wherein the detection surface of the charged particle detection element 108 is disposed on the center axis of the objective lens 105.
(FR) La présente invention permet de détecter des électrons de signal à haute énergie qui passent à proximité d'un axe optique, par exemple, des électrons rétrodiffusés (BSE) ou des électrons secondaires (SE) dans un système optique survolteur. A cet effet, l'invention concerne un dispositif à faisceau de particules chargées ayant une source de faisceau de particules chargées 101 pour générer un faisceau de particules chargées, une lentille d'objectif 105 pour focaliser le faisceau de particules chargées sur un échantillon, et un élément de détection de particules chargées 108 qui est disposé entre la source de faisceau de particules chargées 101 et la lentille d'objectif 105 et détecte les particules chargées produites en raison de l'interaction entre le faisceau de particules chargées et l'échantillon, la surface de détection de l'élément de détection de particules chargées 108 étant disposée sur l'axe central de la lentille d'objectif 105.
(JA) 光軸近傍を通過するエネルギーの高い信号電子、例えば、後方散乱電子(BSE)やブースター光学系における二次電子(SE)を検出可能にする。このため、荷電粒子線を発生させる荷電粒子線源101と、荷電粒子線を試料に収束する対物レンズ105と、荷電粒子線源101と対物レンズ105との間に配置され、荷電粒子線と試料との相互作用により生じる荷電粒子を検出する荷電粒子検出素子108とを有する荷電粒子線装置において、荷電粒子検出素子108の検出面は対物レンズ105の中心軸上に配置される。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)