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1. (WO2018220761) 極端紫外光生成システム
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国際公開番号: WO/2018/220761 国際出願番号: PCT/JP2017/020321
国際公開日: 06.12.2018 国際出願日: 31.05.2017
IPC:
G03F 7/20 (2006.01) ,H05G 2/00 (2006.01)
[IPC code unknown for G03F 7/20][IPC code unknown for H05G 2]
出願人:
ギガフォトン株式会社 GIGAPHOTON INC. [JP/JP]; 栃木県小山市大字横倉新田400番地 400, Oaza Yokokurashinden, Oyama-shi, Tochigi 3238558, JP
発明者:
林 健悟 HAYASHI Kengo; JP
代理人:
森村靖男 MORIMURA Yasuo; JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) EXTREME UV LIGHT GENERATION SYSTEM
(FR) SYSTÈME DE GÉNÉRATION DE LUMIÈRE ULTRAVIOLETTE EXTRÊME
(JA) 極端紫外光生成システム
要約:
(EN) An extreme UV light generation system may comprise: a first area that includes a light path adjustment unit that adjusts the light path of laser light emitted from an oscillator; a second area that includes a chamber having a plasma generation region in the interior thereof; a first interlock switch disposed in the first area; a second interlock switch disposed in the second area; and a control unit configured so as to be able to switch between a first setting state in which monitoring of detection signals output from both the first interlock switch and the second interlock switch is set to be enabled, a second setting state in which monitoring of detection signals output from both the first interlock switch and the second interlock switch is set to be disabled, and a third setting state in which monitoring of detection signals output from the first interlock switch is set to be enabled and monitoring of detection signals output from the second interlock switch is set to be disabled.
(FR) Selon la présente invention, un système de génération de lumière ultraviolette extrême peut comprendre : une première zone qui comprend une unité de réglage de trajet de lumière qui règle le trajet de lumière de la lumière laser émise par un oscillateur ; une deuxième zone qui comprend une chambre comportant une région de génération de plasma en son sein ; un premier commutateur de verrouillage disposé dans la première zone ; un deuxième commutateur de verrouillage disposé dans la deuxième zone ; et une unité de commande configurée de façon à pouvoir commuter entre un premier état de réglage dans lequel la surveillance des signaux de détection émis par le premier commutateur de verrouillage et le deuxième commutateur de verrouillage est réglé pour être activé, un deuxième état de réglage dans lequel la surveillance de signaux de détection émis par le premier commutateur de verrouillage et le deuxième commutateur de verrouillage est réglé pour être désactivé, et un troisième état de réglage dans lequel la surveillance de signaux de détection émis par le premier commutateur de verrouillage est réglée pour être activée et la surveillance des signaux de détection émis par le deuxième commutateur de verrouillage est réglée pour être désactivée.
(JA) 極端紫外光生成システムは、発振器から出射するレーザ光の光路を調整する光路調整部を含む第1のエリアと、プラズマ生成領域を内部に有するチャンバを含む第2のエリアと、第1のエリアに配置される第1のインターロックスイッチと、第2のエリアに配置される第2のインターロックスイッチと、第1のインターロックスイッチ及び第2のインターロックスイッチから出力される検知信号の監視の双方が有効に設定される第1の設定状態と、第1のインターロックスイッチ及び第2のインターロックスイッチから出力される検知信号の監視の双方が無効に設定される第2の設定状態と、第1のインターロックスイッチから出力される検知信号の監視が有効に設定され、第2のインターロックスイッチから出力される検知信号の監視が無効に設定される第3の設定状態とを切り替え可能に構成される制御部とを備えるようにしてもよい。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)