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1. (WO2018220756) ミスト塗布成膜装置の塗布ヘッドおよびそのメンテナンス方法

Pub. No.:    WO/2018/220756    International Application No.:    PCT/JP2017/020298
Publication Date: Fri Dec 07 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Thu Jun 01 01:59:59 CEST 2017
IPC: B05B 1/04
B05B 17/06
B05D 1/02
Applicants: TOSHIBA MITSUBISHI-ELECTRIC INDUSTRIAL SYSTEMS CORPORATION
東芝三菱電機産業システム株式会社
Inventors: LI, Tianming
李 天明
Title: ミスト塗布成膜装置の塗布ヘッドおよびそのメンテナンス方法
Abstract:
実施形態では、歩留りおよびスループットを向上させたミスト塗布成膜装置の塗布ヘッドおよびそのメンテナンス方法を提供する。塗布ヘッドは、本体を備える。前記本体は、原料溶液のミストを供給することを可能とする供給口を設けたトッププレートと、前記トッププレートの鉛直方向の下方に設けられたボトムプレートと、前記トッププレートと前記ボトムプレートとの間に設けられ、前記トッププレートおよび前記ボトムプレートとともに、内部空間を形成するサイドウォールと、を含む。前記サイドウォールは、前記内部空間から前記ミストを外部に噴霧するスリットと、前記内部空間で凝集したミストを回収することを可能とする回収口と、を含む。前記ボトムプレートは、前記サイドウォールの内周から前記回収口に向かって高さが低くなる傾斜を有する。